OR400M外延片測(cè)溫儀
主要特性
優(yōu)點(diǎn):
溫度范圍為50℃C至1300℃
讀取速率高達(dá)250Hz
單通道配置可選/固定發(fā)射率
高速、固態(tài)檢測(cè)器
可配置的過濾器、檢測(cè)器和光學(xué)傳輸系統(tǒng)
RS-232連接模式
應(yīng)用:
適用于半導(dǎo)體外延,太陽能薄膜和玻璃類工藝
技術(shù)參數(shù):
通道配置: | 帶可選/固定發(fā)射系數(shù)的單通道溫度測(cè)量 |
測(cè)溫范圍: | 50-1300℃ |
測(cè)溫波長: | 3.3 和 5.2 um |
讀取速率: | 高達(dá)250 Hz |
測(cè)量精度: | ±3℃℃ |
重復(fù)精度: | ±0.1℃℃,正常情況下 |
分辨率: | 0.01°C |
顯示: | 無,可通過RS232設(shè)置 |
數(shù)據(jù)I/O: | US232,可達(dá)115kB |
模擬輸出: | 0-10V或4-20mA |
電源: | 交流:90 to 263 VAC,47 to 63 Hz直流:24V DC |
環(huán)境參數(shù): | 18-40℃,非冷凝 |
物理尺寸: | 32 mm (H)x 57 mm (W)x 235 mm (D) |
重量: | 0.39kg |
安裝: | 框架安裝、安裝孔安裝等 |