主要特性
優(yōu)點(diǎn):
提高可重復(fù)性并顯著減小誤差
提高生產(chǎn)率、產(chǎn)量和生產(chǎn)能力
提高多個(gè)腔室和基材的穩(wěn)定性和可靠性
特點(diǎn):
·主動(dòng)輻射率檢測和補(bǔ)償
溫度和輻射率讀取速率快
·模塊化的結(jié)構(gòu)具有高靈活性
·全套I/O和外部觸發(fā)器/同步組件
技術(shù)參數(shù)：
| 概述: | 實(shí)時(shí)，雙通道，在測量過程中能實(shí)時(shí)測量材料發(fā)射系數(shù)并糾正，補(bǔ)償測量溫度，測量速度高達(dá)2kHz |
| 通道配置: | 1-2通道，透過脈沖發(fā)射器實(shí)時(shí)糾正發(fā)射系數(shù)，每個(gè)通道可單獨(dú)配置 |
| 測溫范圍: | 50-3500°C |
| 實(shí)時(shí)發(fā)射系數(shù)范圍: | 0.03 至 1.0 |
| 測量波長: | UV to 2300 nm |
| 讀取速率: | 高達(dá)2kHz,在實(shí)時(shí)發(fā)射系數(shù)自糾正溫度測量模式下可達(dá)500Hz |
| 測量精度: | ±1.5℃ |
| 重復(fù)精度: | ±0.1℃℃，正常情況下 |
| 分辨率: | 0.001°C |
| 顯示: | 內(nèi)置，4x20LCD屏，帶鍵盤輸入 |
| 數(shù)據(jù)I/O: | RS-232,RS-422/485,and Etherne |
| 模擬輸出: | t0-10V或4-20mA |
| 控制接口: | 外部觸發(fā)輸入，同步輸出，高低報(bào)警 |
| 電源: | 交流:90 to 263 VAC, 47 to 63 Hz直流:24V DC |
| 環(huán)境參數(shù): | 5-40℃，非冷凝 |
| 物理尺寸: | 8.6 cm (H)x15.2 cm ()x 21.8 cm(D) |
| 重量: | 2.0kg |
| 安裝: | 底部M3 X0.75螺孔 |
| 采樣響應(yīng)時(shí)間: | 2kHz采樣速率時(shí)<2ms |
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