勻膠旋涂儀Spin Coater  
一、設(shè)備用途和特點(diǎn)：

1、勻膠旋涂儀用途：主要用微細(xì)加工、半導(dǎo)體、微電子、光電子和納米技術(shù)工藝中在硅片、陶瓷片上勻膠等工藝與光刻、烘烤等設(shè)備配合使用。設(shè)備能滿足各類以下尺寸的基片處理要求，并配制相應(yīng)的托盤夾具。驗(yàn)收除按賣方提供的標(biāo)準(zhǔn)基片外，另外可根據(jù)買方要求的 10mm 的碎片和 4 英寸的晶圓片等驗(yàn)收試驗(yàn)要求。
2、特點(diǎn)：

（1）外觀整潔、美觀，占地面積小，節(jié)省凈間的使用面積；（2）材質(zhì)易于清洗和維護(hù)，設(shè)備結(jié)構(gòu)布局合理，用戶操作、使用、維

修方便；（3）采用成熟、的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)方式，確保設(shè)備工作的性；

（4）設(shè)備具備高性能、低故障率、長使用壽命、易操作維修、造型美觀、售后服務(wù)完備。

二、 設(shè)備配置明細(xì)

設(shè)備具體配置如下

POS. QTY. PART DESCRIPTION
項(xiàng)目號 數(shù)量 部件名稱 描述

1 1 勻膠機(jī)主機(jī) WS?650Mz?23NPPB
勻膠機(jī)主機(jī)
2 1 真空泵 Vacuum Pump Rock300
配套真空泵浦 Rock300

3 1 真空托盤 Spinner Chuck 50~150mm
勻膠托盤 50~150mm

4 1 真空托盤 Spinner Adapter 10~50mm
勻膠轉(zhuǎn)接托盤 10~50mm


5 1 系統(tǒng)附件 含密封圈若干、標(biāo)準(zhǔn)樣片、水平儀、連接管
若干


6 1 操作軟件 Spin 3000 Software
Spin 3000 操作軟件

7 1 安裝文檔 Installation Documents
安裝文檔
三. 設(shè)備技術(shù)資料

勻膠機(jī)臺

1． 系統(tǒng)概述

1.1智能嵌鎖，系統(tǒng)蓋板具有智能嵌鎖裝置，確保操作；

1.2防腐裝置；

1.3*設(shè)有保護(hù)氣體裝置：旋涂過程中對旋轉(zhuǎn)馬達(dá)進(jìn)行氣流保護(hù)；

1.4通信接口，藍(lán)牙連接

2． 處理腔體

2.1處理腔體內(nèi)徑不小于 9.5 英寸 (241 毫米)；

2.2* Wafer 芯片尺寸至少滿足10?150mm 直徑的材料，方片125x125mm，

無需更換片托；

2.3腔體具有易清潔的 NPP 天然聚丙烯材質(zhì)；

3． 旋轉(zhuǎn)馬達(dá)

3.1轉(zhuǎn)動速度至少滿足 0?12,000rpm，

3.2旋涂加速度不小于 12,000rpm/sec；

3.3馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差不過±1%；4． 控制系統(tǒng)

4.1工藝時間設(shè)定范圍至少滿足 1?5999.9 sec/step ，精度不過 0.1s；

4.2配有高精度 PLC 可編程的控制器，設(shè)置點(diǎn)精度小于 0.006%；

4.3可存儲不少于 20 個程序段，每個程序段可設(shè)置不少于 51 個不同步驟的速度狀態(tài)；

4.4*分辨率要小于 0.5RPM，重復(fù)性誤差要小于±0.5RPM，具有標(biāo)準(zhǔn)，并且無需再校準(zhǔn)；

5． 配套泵浦

5.1配套真空泵系統(tǒng)：無油型 220~240 伏交流，50/60 赫茲；

5.2真空吸附范圍 25?28 英寸汞柱 (~635?711 毫米汞柱)可調(diào)節(jié)，抽速不小于 4.5 SCFM (0.11 立方米/分鐘) ；

6． 系統(tǒng)附件

6.1*免費(fèi)贈送基于 Windows 的操作軟件；

6.2水平測試儀；

6.3兩袋密封圈；

*配有兩套可更換的廢液接收單元；

四.設(shè)備運(yùn)行條件

4?1．設(shè)備外圍條件要求

1. 環(huán)境要求

a) 無塵室 1000 級或者

b) 溫濕度 溫度：22±3°C°C
濕度：45 ~ 70%
c) 安裝維護(hù)距離 與其他設(shè)備或者墻面距離≥30cm

d) 設(shè)備尺寸以及重量 長寬高：420mm x 380 mm x 290mm
重量：15kg

2. 電力要求 220 V±10%, 16 A, 50 Hz
3. 動力要求

a) 真空 25~28 Inches Hg
b) 氮?dú)?60?70 PSI
c) 干燥空氣 60?70 PSI


五.售后服務(wù)

5?1. 設(shè)備保修期為設(shè)備驗(yàn)收合格后 1 年(保修期內(nèi)免費(fèi)提供非人為因素?fù)p

壞的備件及服務(wù))，并長期提供技術(shù)支持。

5?2 機(jī)器發(fā)生故障時,供方在 24 小時內(nèi)明確回復(fù)。

5?3 如果未能解決問題,供方工程師應(yīng)在 2 個工作日內(nèi)與用方達(dá)成故障解決

方案。

5?4 設(shè)備保修期內(nèi)，損壞的備件原則上賣方應(yīng)在 1 個工作日內(nèi)明確回復(fù)備

件的交貨期限。并當(dāng)供方倉庫有備件庫存時,在 1 個工作日內(nèi)寄出。

5?5 保修期結(jié)束后，供方應(yīng)在收到買方定單后 1 個工作日內(nèi)明確回復(fù)備件

的交貨期限。

5?6 保修期結(jié)束后，供方應(yīng)優(yōu)惠供應(yīng)相關(guān)備件。涉及的相關(guān)技術(shù)服務(wù)盡量

免費(fèi)解決，不可避免的收費(fèi)項(xiàng)目，賣方應(yīng)提供優(yōu)惠，屆時協(xié)商解決。

5?7 供方承諾向用方長期優(yōu)惠供應(yīng)設(shè)備相關(guān)的耗材。

5?8 售后服務(wù)，人員安排由雙方協(xié)商確定。

5?9 針對中國客戶操作員頻繁更換的特點(diǎn)，公司每年提供所在城市的免費(fèi)設(shè)備巡檢服務(wù)，檢查設(shè)備潛在故障和隱患，培訓(xùn)新操作人員。