產(chǎn)地類別 |
國產(chǎn) |
應(yīng)用領(lǐng)域 |
化工,綜合 |
一鍵式全自動快速橢偏儀采用工業(yè)化設(shè)計,操作簡單,可在幾秒鐘內(nèi)完成全自動測量和分析,并輸出分析報告。是用于薄膜測量和器件質(zhì)量控制的解決方案。
全自動化&高集成度&可視化光斑
操作簡單,測試快速,為一般操作工人設(shè)計
一鍵式全自動快速橢偏儀 Auto SE——新型的全自動薄膜測量分析工具。
采用工業(yè)化設(shè)計,操作簡單,可在幾秒鐘內(nèi)完成全自動測量和分析,并輸出分析報告。是用于薄膜測量和器件質(zhì)量控制的解決方案。
主要特點:
液晶調(diào)制技術(shù),無機械轉(zhuǎn)動部件,重復(fù)性,信噪比高
技術(shù)成像系技術(shù),所有樣品均可成像,對于透明樣品,自動去除樣品的背反射信號,使得數(shù)據(jù)分析更簡單.
反射式微光斑,覆蓋全譜段,利于非均勻樣品圖案化樣品測試
全自動集成度高,安裝維護簡便
一鍵式操作軟件,快速簡單
自動MAPPING掃描,分析樣品鍍膜均勻性
一鍵式全自動快速橢偏儀技術(shù)參數(shù):
高集成度全自動式設(shè)計,操作簡便,安裝快速,自動校驗故障
液晶相調(diào)制
16個穆勒矩陣參數(shù)
1秒內(nèi)完成全譜測量
MyAuto View可視光斑技術(shù)
微光斑,四種可選
一鍵式操作,一鍵出報告