上海市某半導(dǎo)體廠，專注于研發(fā)和制造專業(yè)應(yīng)用的晶圓。晶圓生產(chǎn)工藝復(fù)雜，其中蝕刻工序使用氫氟酸溶液進(jìn)行蝕刻、并用高純水清洗，在這個工序中產(chǎn)生了大量的高濃度含氟廢水，含氟廢水經(jīng)過加藥、混凝沉淀處理后達(dá)標(biāo)排放。該半導(dǎo)體廠在總排口處安裝了一臺FBM-160氟離子濃度分析儀。根據(jù)國標(biāo)《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB8978-1996）以及上海市環(huán)境保護(hù)局發(fā)布的地方標(biāo)準(zhǔn)《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（DB31），該半導(dǎo)體廠執(zhí)行三級標(biāo)準(zhǔn)，其總排口的氟限值為20mg/L。

氟離子濃度分析儀的現(xiàn)場圖如下圖所示，控制器采用管式安裝，電極采用浸入式安裝。

FBM-160氟離子濃度分析儀采用氟離子選擇電極法，監(jiān)測方法符合國標(biāo)GB7484-1987。

氟離子濃度分析儀結(jié)構(gòu)簡單，氟離子電極現(xiàn)場采用浸入式安裝，在無選配自動清洗組件的前提下，每月人工清洗一次電極，三個月校準(zhǔn)一次電極。在正常維護(hù)條件下，每年更換一次氟離子電極?，F(xiàn)場安裝方便，維護(hù)較簡單，測量值均低于20mg/L，和實驗室比對數(shù)據(jù)良好，符合用戶的測量要求。

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