VMB氣體閥門(mén)分配箱是一種內(nèi)嵌多支分發(fā)管與排氣管，實(shí)現(xiàn)高純氣體或或者液體分流的閥門(mén)箱。它能讓氣體從單一來(lái)源被分配到多點(diǎn)應(yīng)用 ，而且對(duì)于每個(gè)使用點(diǎn), 氣壓還可被單獨(dú)地調(diào)控, 從而滿足個(gè)別應(yīng)用需求，是一種高精度的氣體設(shè)備。
VMB有手動(dòng)分配箱和半（全）自動(dòng)分配箱，兩者之間的區(qū)別在于是否通過(guò)PLC面板控制和系統(tǒng)功能的多少。
VMB是被設(shè)計(jì)且制造成為單一氣體使用，不能讓兩種氣體共同使用。專(zhuān)為腐蝕性、毒性等危險(xiǎn)性氣體供應(yīng)，既然專(zhuān)為危險(xiǎn)性氣體設(shè)計(jì)，那拆卸的時(shí)候豈不是很危險(xiǎn)？當(dāng)然不是，我們的VMB是具有循環(huán)清潔功能和真空抽氣功能的。能夠在無(wú)危險(xiǎn)氣體泄漏的情況下安全地拆卸 VMB 的每一部分，不僅如此，它還能在不影響其它應(yīng)用點(diǎn)的氣體供應(yīng)下, 單獨(dú)清洗某一氣體分發(fā)管或者對(duì)其進(jìn)行真空抽氣。
VMB氣體閥門(mén)分配箱半自動(dòng)分配箱的功能和拆分:
一、 閥門(mén)箱VMB（Valve Manifold Box）硬件配置
1. 人機(jī)界面：作為人與控制器的控制與溝通界面。
一方面可顯示系統(tǒng)目前的狀況，同時(shí)亦可接受操作人員下達(dá)的指令，作為系統(tǒng)運(yùn)作的確認(rèn)。
2. PLC：整體控制的處理中心。
3. 電磁閥：控制氣動(dòng)閥的開(kāi)閉。
(電磁閥為可撥式Type，可依需求強(qiáng)制開(kāi)啟電磁閥)
4.遮斷按鈕：系統(tǒng)發(fā)生異常時(shí)按此鈕關(guān)閉盤(pán)面氣動(dòng)閥。
5. LED指示燈：以亮燈表示系統(tǒng)目前的狀態(tài)。
系統(tǒng)正常：（Normal）
存量不足：（Low Quantity）
異常報(bào)警：（Shutdown）Or (Warning)
6. 紫/紅外線火焰感知器：當(dāng)感測(cè)到火災(zāi)發(fā)生時(shí)作動(dòng)，將訊息傳至PLC處理。
7. 差壓設(shè)定開(kāi)關(guān)：當(dāng)箱體與大氣壓之差壓未達(dá)設(shè)定值動(dòng)作，將訊息傳至PLC處理。
8. 差壓計(jì)：顯示箱體與大氣壓之差壓。
9. 繼電器：依電路設(shè)計(jì)可作為控制或接點(diǎn)之輸出。
10. 電源供應(yīng)器：因控制回路所使用之電源為DC 24V，故需Power Supply轉(zhuǎn)換。
11. 溫度開(kāi)關(guān)：當(dāng)感測(cè)到箱體溫度高于設(shè)定值時(shí)，將訊息傳至PLC處理。
12. I.A過(guò)流量開(kāi)關(guān)：當(dāng)驅(qū)動(dòng)氣動(dòng)閥之軟管松脫或爆裂導(dǎo)致流量過(guò)大，將輸出訊號(hào)告知。
二、 閥門(mén)箱VMB（Valve Manifold Box）安全功能介紹：
1. 緊急停止按鈕：按下緊急停止按鈕即可關(guān)斷所有的氣動(dòng)閥。
2. 遠(yuǎn)程緊急停止控制：當(dāng)遠(yuǎn)程緊急停止動(dòng)作驅(qū)動(dòng)則即可關(guān)斷所有的氣動(dòng)閥。
3. I.A壓力開(kāi)關(guān)：當(dāng)氣動(dòng)閥驅(qū)動(dòng)壓力不足時(shí)則會(huì)輸出警報(bào)告知。設(shè)定為 0.4 ~ 0.63 Mpa。
4. 過(guò)溫開(kāi)關(guān)：當(dāng)偵測(cè)到箱體環(huán)境溫度高于設(shè)定值時(shí)則會(huì)輸出警報(bào)告知并且自動(dòng)關(guān)閉所有閥件。設(shè)定溫度為70℃。
5. 紫/紅外線火焰感知器：當(dāng)感測(cè)到火災(zāi)發(fā)生時(shí)作動(dòng)，則會(huì)輸出警報(bào)告知并且自動(dòng)關(guān)閉所有閥件。
6. 過(guò)流量開(kāi)關(guān)：當(dāng)管路內(nèi)的流量過(guò)大導(dǎo)致驅(qū)動(dòng)過(guò)流量開(kāi)關(guān)(EFS)，則會(huì)輸出警報(bào)告知并且自動(dòng)關(guān)閉該使用側(cè)的閥件。
7. 壓差開(kāi)關(guān)：當(dāng)箱體內(nèi)的壓差過(guò)小的狀態(tài)下，則會(huì)輸出警報(bào)告知。設(shè)定壓差為50 Pa以上。當(dāng)壓差不足，當(dāng)氣體外泄時(shí)時(shí)易發(fā)生氣體擴(kuò)散出箱體，故開(kāi)啟箱體門(mén)前敬請(qǐng)注意箱體與大氣的壓差是否足夠。
因其設(shè)計(jì)初衷和適用氣體，被廣泛用于Semiconductor、TFT、SunSolar、LED，研究所，高校實(shí)驗(yàn)室等行業(yè)。比如：目前，因制程越來(lái)越先進(jìn)，大流量特氣供氣的需求越來(lái)越多，產(chǎn)生了BSGS的系統(tǒng)，而為達(dá)到供應(yīng)的穩(wěn)定，一臺(tái)會(huì)分配到多臺(tái)VMB。
氣體分配箱VMB和特氣柜在特氣系統(tǒng)中起著至關(guān)重要的作用。VMB負(fù)責(zé)將氣體從氣體源輸送到使用點(diǎn)，而特氣柜負(fù)責(zé)存儲(chǔ)和管理氣體瓶，保障氣體的安全使用和儲(chǔ)存。這兩種設(shè)備的作用和功能互補(bǔ)，相互協(xié)作，確保特氣系統(tǒng)的正常運(yùn)行。
在特氣系統(tǒng)中，氣體分配箱VMB和特氣柜通常通過(guò)控制系統(tǒng)進(jìn)行協(xié)調(diào)?？刂葡到y(tǒng)可以通過(guò)監(jiān)測(cè)氣體流量和壓力來(lái)調(diào)節(jié)氣體分配箱VMB的閥門(mén)，確保氣體被正確地輸送到需要的地方。控制系統(tǒng)還可以監(jiān)測(cè)特氣柜的氣體瓶存量和安全狀態(tài)，以確保氣體瓶的安全使用和儲(chǔ)存。
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