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非標(biāo)探針臺

I (1)微型探針臺

•整機(jī)外形尺寸:約380mmL*300mmW*320mm H,重量:約10 kg；

•雙探針座平臺鍍鏢設(shè)計(jì)，提高了針座平臺和針座之間的吸附力；

• ChJKZC-UCk XY微分頭設(shè)計(jì)，行程25mm*25mm,精度2um；

• ChJKZC-UCk大小：2英寸，中心吸附孔和多圈吸附環(huán)固定樣品,均獨(dú)立控制；

•卡盤電學(xué)獨(dú)立懸空，帶4mm香蕉頭插口,可以作為背電極使用；

-臺體底板帶高性能防震海綿，可一定程度減小外界震動對測試的干擾;

•整機(jī)人體工程學(xué)設(shè)計(jì)，操作簡單，使用便捷。

| (2)倒裝手動測試夾具

-可給樣品加載DC或者RF信號；

•樣品可在0~180度任意角度內(nèi)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)并固定；

-具備微調(diào)功能，精度0.1度；

•玻璃樣品載臺，高透光性；

•可無磁化設(shè)計(jì)，在光學(xué),電磁等環(huán)境中運(yùn)用較為廣。

| (3)光電流測試顯微鏡

-可在原有光路基礎(chǔ)上可以導(dǎo)入另一路光源，用于輻照樣品以測試樣品在特定波長及能量下電學(xué)性能；

-顯微鏡設(shè)計(jì)為雙光路或3光路，其中一路為導(dǎo)入光通路，另一到兩路為成像光路導(dǎo)入光為平行的激光或其它線性光源 ,波長范圍200nm~20000nm,中間可加入多個(gè)波片過濾,起偏及偏振角度無級360度調(diào)節(jié)。光斑輻照直徑有650nm紅光 指示。所有模塊均可拉出設(shè)計(jì)，對導(dǎo)入光性質(zhì)無影響；

-導(dǎo)入光光路可選擇光時(shí)間開關(guān),精確控制導(dǎo)入光的輻照時(shí)間，精度1ms,范圍2ms~oo,在控制界面上可對各種參數(shù)進(jìn) 行詳細(xì)設(shè)置，成像光路為同軸照明金相成像，其中一路為1倍成像，可選擇第2路成像，為物鏡的0.25-10倍率，通常在高 低溫測試系統(tǒng)里會用到，同一個(gè)物鏡不切換，得到兩個(gè)不同視野的成像。

（4）TEC制冷卡盤

•釆用TEC制冷，無需液氮，使用方便；

可給樣品提供不同溫度環(huán)境；

-樣品臺大小可選，防干擾設(shè)計(jì)，具備良好的接地性能;

•溫度范圍:負(fù)45°C~150°C,溫度分辨率：0.1°C,

溫度穩(wěn)定性：土 0.3°C；

•樣品臺微調(diào)升降，行程0-10mm,精度10um.

 (5)磁場探針臺(無磁設(shè)計(jì))

•在探針臺的基礎(chǔ)上，可加載三維磁場，多維磁場，磁場強(qiáng)度，精度和間隙均可調(diào)整;

-高剛性結(jié)構(gòu)，所有零配件均采用無磁化材料；

-可加載高低溫，可同時(shí)進(jìn)行DC和RF測試；

可以旋轉(zhuǎn)，科客制化。

|⑹110g以上高頻測試探針臺

-可配合市場主流擴(kuò)頻模塊進(jìn)行超高頻測試；

•大行程高精度探針座,X-Y-Z-Theta四軸控制；

-顯微鏡可以在2英寸*2英寸*2英寸范圍內(nèi)移動,擴(kuò)大了顯微鏡視場；

-兼容直流與高頻信號；

-可以定制,可升級性強(qiáng)；

-最大可以測試12英寸樣品,探針臺chJKZC-UCk具備升降功能，便于樣品和 探針的快速分離。

(7)自動測試系統(tǒng)

-自動探針測試系統(tǒng)，可以與半?yún)ⅲW(wǎng)分聯(lián)動；

-電動二維平臺，可手動和電動操作；

• ChJKZC-UCk XY軸運(yùn)動行程100*100mm,復(fù)定位精度＜±lum；

• X-Y軸驅(qū)動:電機(jī)+絲桿+光柵尺；

-探針/光纖探針XYZ軸電動模塊30*30*30mm,復(fù)定位精度W ±lum；

-X-Y-Z軸驅(qū)動:電機(jī)+絲桿+光柵尺。

| (8)可升降平臺

產(chǎn)品型號：T-station

產(chǎn)品參數(shù)：

-尺寸和重量定制；

-單個(gè)探針座平臺最多可同時(shí)放置3個(gè)探針座；

-探針座平臺表面鍍鏢，增大與探針座之間的吸附力;

-隱匿螺紋固定于標(biāo)準(zhǔn)蜂窩板，美觀，并且方便拆卸；

-平臺可升降，升降高度和精度可定制；

-可配合光電流顯微鏡使用。

| (9)高精度納米探針座

產(chǎn)品型號：JKZC-DCH-20nm

產(chǎn)品參數(shù)：

-X軸分辨率：20nm,行程30um (旋鈕控制盒)；

-YZ軸分辨率：10um,行程+-6.5mm；

-釆用高精度壓電陶瓷設(shè)計(jì)，可以固定步距撥動樣品或者納米線。

(10)毫米級手持式探針夾具

產(chǎn)品型號：JKZC-DCH

產(chǎn)品參數(shù)

•整體尺寸:20*20*180mm;

-萬向調(diào)節(jié)旋鈕，方向可調(diào)，松緊可調(diào)；

磁吸底座，直徑20mm;

•兼容彈簧針和晶圓針；

-Cable接頭可定制三軸，同軸或者其它。

(11) FA失效分析探針臺

產(chǎn)品型號：FA

產(chǎn)品參數(shù)

•探針臺系統(tǒng)可以選用：4~12英寸JKZC-DN系列探針臺。

•激光系統(tǒng)可以選用美國ESI三波段激光器或者法國 quantel激光器

•美國ESI (NEWWAVE)激光器參數(shù)

鐳射波長1064和532nm和355nm

輸出功率2.2mJ/pulse

擊打頻率lHz~50Hz

可加工的材質(zhì):Copper/Gold/Poly Silicon/Alu minum/Silicon Dixoide等

最小加工尺寸1微米(使用100X物鏡)

         最大加工尺寸40微米(使用50X物鏡)