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詳細(xì)介紹
（2手）掃描電鏡SEM+EDX操作窗口
直觀的操作界面的設(shè)計(jì)，簡明易懂便于迅速掌握操作。
日本JEOL掃描電子顯微鏡JSM-6510（SEM)支持多用戶
單個(gè)用戶可以根據(jù)常用功能設(shè)置相應(yīng)的圖標(biāo)，營造快捷的操作環(huán)境。用戶登錄時(shí)，即可加載已注冊過的設(shè)定。
日本JEOL掃描電子顯微鏡JSM-6510（SEM)同時(shí)顯示兩幅圖像
畫面上并列顯示二次電子成像和背散射電子成像這兩種實(shí)時(shí)圖像。可同時(shí)觀察樣品的形貌和組成分布。
日本JEOL掃描電子顯微鏡JSM-6510（SEM)維護(hù)簡便
工廠預(yù)置中心燈絲，十分便于更換。因此，可長期保持穩(wěn)定的高性能。此外，操作界面還能以映像形式顯示燈絲維護(hù)的步驟說明。
日本JEOL掃描電子顯微鏡JSM-6510（SEM)可信賴的真空系統(tǒng)
真空系統(tǒng)使用高性能的擴(kuò)散泵保證了潔凈的高真空狀態(tài)。擴(kuò)散泵內(nèi)部無活動(dòng)部件，體現(xiàn)了操作穩(wěn)定，維護(hù)簡便的特色。
（2手）掃描電鏡SEM+EDX:技術(shù)參數(shù)
分辨率 3.0nm（30kV）
8.0nm（3kV）
15nm（1kV）
放大倍數(shù) 5至300,000x
加速電壓 0.5kV至30kV
電子槍 工廠預(yù)對中燈絲
聚光鏡 變焦聚光鏡
物鏡 錐形物鏡
樣品臺 全對中樣品臺
X-Y 80mm-40mm
Z 5mm至48mm
旋轉(zhuǎn) 360°
傾斜 －10°至＋90°
排氣系統(tǒng)
（高真空模式） DPx1，RPx1
排氣系統(tǒng)
（低真空模式） DPx1，RPx2
掃描電子顯微鏡主要特點(diǎn)
1.強(qiáng)大的電子光學(xué)系統(tǒng)，簡單操作
I 設(shè)計(jì)的超級圓錐型物鏡，保證3nm的分辨率。很容易得到高質(zhì)量照片。
II 廣域掃描線圈可以得到低5倍的放大倍數(shù)從而提高觀察樣品的效率。
III 電子光學(xué)系統(tǒng)可以在大束流下形成小束斑，有利于微區(qū)分析。
2.高分辨率
I JSM6510系列超級圓錐形物鏡，在工作距離8mm時(shí)的分辨率為3nm，超級圓錐形物鏡
2的外形設(shè)計(jì)可以做到短工作距離情況下樣品仍然可以大角度傾斜。
3.全自動(dòng)電子槍
2 I JEOL開發(fā)的全自動(dòng)電子槍能夠產(chǎn)生極小電子束源，只要選擇好加速電壓，就可以進(jìn)行觀察或成分分析。
II 電子槍偏壓是調(diào)節(jié)電子槍亮度的重要部件。JEOL的無縫自給加壓系統(tǒng)能隨著電壓變化隨時(shí)調(diào)整偏壓，使得無論選擇哪個(gè)加速電壓，都能得到亮度。
III JEOL*的像散記憶功能能夠自動(dòng)糾正隨加速電壓或工作距離改變而產(chǎn)生的像散。
1KV 5KV
10KV 20KV
4.多圖顯示模式
3 I 主顯示區(qū)可以同時(shí)顯示兩幅實(shí)時(shí)圖像，分別為二次電子像和背散射電子像，參考區(qū)也可顯示2幅實(shí)時(shí)圖像，例如二次電子圖像，背散射電子圖像或CCD相機(jī)圖像。
II 雙實(shí)時(shí)顯示模式可以用于不同信號圖像的對比，用戶可在觀察表面形貌的同時(shí)了解樣品的成份分布情況。
III 選用多種圖像顯示模式時(shí)，點(diǎn)擊“PHOTO"按紐可同時(shí)獲得并存儲2或3幅全屏尺度圖像。
5.簡單易懂的操作接口及菜單
I 操作接口簡單，直觀，默認(rèn)的操作接口顯示了常用的功能按鈕，并以簡單圖文標(biāo)明，點(diǎn)擊鼠標(biāo)即可操作所有功能。
II 實(shí)時(shí)量測，圖片上的長度和角度等結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)能在顯示器上進(jìn)行測量。
6.可變焦聚光鏡修正
I 做表面觀察和元素分析等不同應(yīng)用時(shí)，選擇合適束流非常重要，一般是通過聚光鏡與物鏡光闌來控制電子束流的。如果在調(diào)整束流過程中，焦點(diǎn)和觀察區(qū)域位移變化很小，調(diào)整起來會比較方便。JEOL*的可變焦聚光鏡可以保證這一點(diǎn)。
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