9
●無軌測量
無軌測量以保證了驅動部直線度的導軌為基準，通過移動檢出器，測針的上下變位量檢測出表面的凹凸，實現對表面粗糙度、波度以及細微的階差形狀的測量。
●有軌測量
有軌測量對測量工件表面的較大波形進行追蹤，從而搖動帶有導軌的檢出器。此時，將以導軌為基準的測針的上下變位量作為表面的凹凸進行檢出。實現無軌測量/有軌測量的切換
工件定位的預測功能
標準配備有強力支持無軌測量時水平調整作業(yè)DAT (Digital Advanced Tilting) 功能的上下傾斜裝置。
DAT (Digital Advanced Tilting) 功能，可先進行預先測量，從其測量結果來計算測量面的傾斜度。
任何人都可以簡單地進行水平調整，既能減輕人為誤差還可提高作業(yè)效率。
●上下傾斜裝置:標準配件 (支持水平調整)
將SJ-410系列安裝在簡易臺架上進行測量時，通過與傾斜載物臺*1、3軸調整工作臺*1、傾斜調整裝置*1等各個選配件的組合，能實現更為簡單的水平調整作業(yè)。
儀器選件：
178-611: 階差樣板 (公制型)
178-610: 階差規(guī) (階差: 1μm, 2μm, 5μm, 10μm)
12AAM556: 用于SJ-410的高度/ 傾斜度調節(jié)裝置
178-039: 手動圓柱臺 (花崗巖基座)(垂直移動: 250mm)
178-010: 用于178-039 的自動設定裝置
178-020: 用于178-039 X 軸調整裝置
178-030: 用于178-039 傾斜度調整裝置 (傾斜調節(jié)裝置)
12AAB358: 圓柱附件 (工件直徑: 15 - 60mm)
178-016: 調水平工作臺 (傾角: ±1.5, zui大負載: 15kg)
178-048: D.A.T 調水平工作臺 (mm)(傾角: ±1.5, zui大負載: 15kg)
1178-043-1: XY 調水平工作臺 (25 x 25mm)(傾角: ±1.5, zui大負載: 15kg, 轉角: ±3)
178-042-1: 數顯 XY 調水平工作臺 (25 x 25mm)(傾角: ±1.5, zui大負載: 15kg, 轉角: ±3)
178-049: 數顯 XY 調水平工作臺 (25 x 25mm)(zui大負載: 15kg)
178-019: 用于 XY 調水平工作臺的精密卡鉗(量爪開度: 36mm)
998291: 用于 XY 調水平工作臺的精密V 型塊(工件直徑: 1 - 160mm)
12AAL069: 記憶卡
12AAD510: USB PC 連接電纜(USB 電纜)
12AAA882: PC 連接電纜(RS-232C 電纜)
965014: SPC 電纜 (2m)
264-012-10: 輸入工具 (USB 型)
264-504: DP-1VR
———: 檢出器、測針和測針導頭