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Horiba質(zhì)量流量控制器SEC-N100系列優(yōu)點：

大范圍控制，從微小流量至大量程，10SCCM~1000SLM

多種通訊方式及電源供給

特點介紹：

1、數(shù)字式/模擬式通信

RS-485/DeviceNet/Profibus/模擬式（電流/電壓）

2、可與其它系列產(chǎn)品兼容

復(fù)合氣體/復(fù)合量程

可以方便的在客戶端更改對應(yīng)氣體和量程

3、高精度控制：±1.0%設(shè)定流量

選用與SEC-Z500系列相同的sensor和bypass

4、快速響應(yīng)：在可控流量范圍內(nèi)，響應(yīng)時間≦1sec

內(nèi)置PID參數(shù)，可以調(diào)整響應(yīng)時間

5、氣閥種類：

電磁閥(~50SLM)

壓電陶瓷閥(100/200SLM)

6、密封圈材質(zhì)：橡膠或金屬

7、氣路表面：未經(jīng)拋光處理

8、接口：僅有VCR接口

9、RoHS要求：滿足RoHS要求

10、高精度：

±1.0% S.P.(*1)

1秒內(nèi)快速響應(yīng)(*1)

多氣體，多量程解決方案

(*1)包括SEC-N17XR

11、多氣體，多量程的功能

可使用軟件方便的更改MFC的氣體或滿量程流量。

Horiba質(zhì)量流量控制器SEC-N100系列技術(shù)參數(shù)：

型號	選擇通訊方式	選擇供電方式
SEC-N102系列	數(shù)字式信號傳輸 ?RS485 F-NET協(xié)議模擬式通訊 ?0～5VDC	HORIBA可提供PE系列供應(yīng)電源
SEC-N104系列	DeviceNet™ 通訊	符合ODVA標(biāo)準(zhǔn)
SEC-N105系列	CC-Link®通訊模擬式通訊 ?0 to 5VDC, 0 to 10VDC　4 to 20mA	符合CC-Link®標(biāo)準(zhǔn) 24VDC(13 ~ 32VDC)
SEC-N106系列	PROFIBUS™ 通訊方式	符合PROFIBUS™ 標(biāo)準(zhǔn) 24VDC(13 to 32VDC)
	模擬式通訊
	?0 to 5VDC, 0 to 10VDC　4 to 20mA
SEC-N107系列	EtherCAT®通訊方式	符合EtherCAT®標(biāo)準(zhǔn)24VDC ± 4V

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