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實驗內(nèi)容：
1.PSD測距原理；
2.PSD實驗誤差測量；
3.PSD輸出信號處理實驗；
4.PSD特性測試實驗；
5.PSD輸出信號誤差補償實驗 ；
6.一維PSD光學系統(tǒng)組裝調(diào)試實驗；
7.激光器驅(qū)動實驗。
實驗儀器：
PSD位置傳感實驗儀 型號：FMD5093
指標：
1.半導體激光器：650nm，5mW，直線驅(qū)動，帶準直調(diào)節(jié)固定架；
2.一維PSD：
光敏區(qū)：1mm*5mm；
光譜范圍：380-1100nm；
峰值響應度：0./W；
位置分辨率：<0.5um；
暗電流：10nA（Vr=5V）；
間電阻：50K歐姆；
3.電壓表：200mV、2V、20V、200V、四檔可調(diào)；測量精度：0.2%
4.升降底座：沿Z軸升降30mm；
5.二維底座：沿X軸方向平移10mm，Z軸升降30mm；