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詳細(xì)介紹
日本新宇宙半導(dǎo)體材料氣體檢測儀
特點
● 小型·輕量
● 可以檢查非常微量的氣體泄漏
● *適合氫氣相關(guān)設(shè)備的保安
● 搭載的泵有自動停止功能
● 搭載[自動氣體排氣模式]功能
● 保護(hù)等級約為IP22（JIS C 0920）※安裝皮套時
02.產(chǎn)品用途
● 半導(dǎo)體工廠/石油化學(xué)工廠等
● 在使用半導(dǎo)體材料氣體/毒性氣體的現(xiàn)場進(jìn)行泄漏檢測
日本新宇宙半導(dǎo)體材料氣體檢測儀
產(chǎn)品參數(shù)
型號 | XP-703DⅢ |
檢測對象氣體 | H2、AsH3、B2H6、SiH4、PH3 |
檢測原理 | **型半導(dǎo)體式 |
采集方式 | 自動吸引式 |
可檢測泄漏量 | H2 ：5.07×10-7、AsH3 ：2.53×10-7、B2H6、1.01×10-7SiH4、2.53×10-7 、PH3：1.52×10-7 |
可檢測濃度 | H2 ：5.07×10-7、AsH3 ：2.53×10-7、B2H6、1.01×10-7SiH4、2.53×10-7 、PH3：1.52×10-7 |
反應(yīng)時間 | 10秒以內(nèi) |
顯示方式 | 液晶數(shù)字（手動背景燈） |
電源（額定） | 5號堿性干電池（LR6） 2節(jié) |
電池使用時間※1 | 約12小時（5號堿性干電池、25℃時） |
保護(hù)等級※2 | 相當(dāng)于IP22※3 |
使用壓力范圍 | 大氣壓（800～1100kpa） |
使用溫濕度范圍 | 0～40℃/85%RH以下（但不能結(jié)露） |
外形尺寸 | W38×H130×D32㎜（突出部分除外） |
重量 | 約190g（包括電池、皮套） |
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