目錄:上海西努光學(xué)科技有限公司>>掃描電子顯微鏡>>日立電鏡制樣設(shè)備>> SU3500日立掃描電子顯微鏡
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更新時(shí)間:2024-11-22 10:32:51瀏覽次數(shù):3601評(píng)價(jià)
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價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類 | 鎢燈絲 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,石油,電子,航天 |
1.成像功能
SU3500日立掃描電子顯微鏡所具備的新型的模擬圖像和改進(jìn)后的電子光學(xué)系統(tǒng)以及圖像顯示算法使之能夠在低加速電壓下獲得更高的分辨率。3KV電壓時(shí),SE圖像可達(dá)7nm,5KV電壓時(shí),BSE圖像可達(dá)10nm。開發(fā)的自動(dòng)多級(jí)電子槍偏壓機(jī)構(gòu)能夠在不降低電子束大小的情況下,在一定范圍內(nèi)的常用加速電壓下增加發(fā)射電流。因此,此款產(chǎn)品與S-3400N相比,噪音得以大幅減少,成像更加清晰。
通過SU3500的開發(fā)并優(yōu)化過的圖像處理方法,現(xiàn)在可以很容易地在快速掃描模式下觀察到低噪聲的圖像。高速自動(dòng)聚焦控制(AFC)和自動(dòng)亮度及對(duì)比度控制(ABCC)的增強(qiáng),使您可以縮短*2SEM(掃描電子顯微鏡)的觀察循環(huán)時(shí)間(TAT)
2.低真空功能操作的優(yōu)異性
新設(shè)計(jì)的真空程序使真空范圍可以達(dá)到6-650Pa,實(shí)時(shí)真空反饋允許在用戶特定的壓力設(shè)定下保持樣品室的快速的真空穩(wěn)定性。在低真空模式下直接觀察更清晰。
SU3500日立掃描電子顯微鏡具有一個(gè)可變壓力模式,允許對(duì)處于自然狀態(tài)下的潮濕,油膩和非導(dǎo)電樣品進(jìn)行觀察。由于正電離子是電子束撞擊殘余氣體分子的結(jié)果,所以不需要進(jìn)行傳統(tǒng)的樣品前處理,比如干燥和金屬鍍層。
新開發(fā)的超高靈敏度可變壓力探測器得以進(jìn)一步優(yōu)化,特別是在可變壓力模式下觀察超薄表面的微觀結(jié)構(gòu)方面。通過同時(shí)觀察從標(biāo)準(zhǔn)BSE探測器得到的組成圖像,使得在多種應(yīng)用下進(jìn)行的各種各樣的分析都成為可能。振木以銅礦物、樹脂填料、水虱等圖像為例真實(shí)的再現(xiàn)了SU3500的這項(xiàng)功能。
3.友好的用戶界面
的用戶界面使工作效率得到*的提高。它的顯示器像素為:zui大1,920×1,200像素 ,采用24.1英寸寬屏顯示器,提高了可視性和操作性,寬屏顯示器不僅使得單一模式下的顯示尺寸更大,而且還可為種用途實(shí)現(xiàn)多種顯示模式。用戶可以通過菜單操作選擇單幅圖像、雙幅圖像、四幅圖像以及全屏幕圖像顯示。
單幅圖像(800×600像素)的功能是便于找到視野及聚焦;雙幅圖像(800×600像素×2)可以同時(shí)顯示不同的探測器觀測到的實(shí)時(shí)SEM圖像。例如,此功能對(duì)于顯示超薄表面的微觀結(jié)構(gòu)的UVD圖像和成分BSE圖像非常有效;四幅圖像(640×480像素×4)可以同時(shí)顯示不同信號(hào)的4種實(shí)時(shí)SEM圖像。例如,此功能對(duì)顯示SE圖像,BSE成分圖像,BSE形貌圖像和BSE 3D圖像非常有效;全屏幕圖像(1,280×960)大尺寸和高分辨率的實(shí)時(shí)圖像,適合多人同時(shí)觀察。信號(hào)混合功能是將同一視野內(nèi)的不同信號(hào)合成到一幅畫面里的功能。例如:具有樣品表面微細(xì)結(jié)構(gòu)信息的二次電子(SE)像和具有豐富的成分信息的背散射電子(BSE)像,通過合成可以在一幅畫里同時(shí)顯示樣品表面的微觀形貌和成分信息,更易于評(píng)價(jià)與解析。
顯示圖像的寬高有2種模式可以供選擇。用戶的界面可以根據(jù)用戶的應(yīng)用目的選擇*的操作條件。對(duì)于SEM的初學(xué)者來說,可以在不具備任何技術(shù)知識(shí)的情況下很容易地操作。除了通過操作按鈕之外,諸如聚焦,放大倍率,掃描速度,亮度自動(dòng)調(diào)整以及圖像都可以通過面板完成操作。嵌入式日常維護(hù)視頻文件使您能正確有效的進(jìn)行日常維護(hù)。
4.多功能樣品室能容納各種樣品
優(yōu)中心5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)主要是:1.移動(dòng)X-Y,傾斜T,旋轉(zhuǎn)R,Z軸(高度)控制通過軌跡球(操縱桿為選配),鼠標(biāo)和輸入數(shù)值控制。2.X-Y軸移動(dòng)步幅控制通過點(diǎn)擊可以實(shí)現(xiàn)每一個(gè)距離的移動(dòng)。對(duì)于觀察等間隔的圖形有效。3.與Z軸聚焦點(diǎn)聯(lián)動(dòng)的高度軸自動(dòng)調(diào)整。即使當(dāng)Z軸位置改變時(shí),圖形也將隨時(shí)保持聚焦?fàn)顟B(tài)。4.優(yōu)中心傾斜,旋轉(zhuǎn)。從現(xiàn)在的觀察位置傾斜,旋轉(zhuǎn)樣品時(shí),圖形不會(huì)大幅地偏離視野。5.觀察位置的圖形顯示。此功能可把樣品和物鏡的相對(duì)位置在一個(gè)圖形上顯示出來。
圖像導(dǎo)航允許操作者使用一個(gè)低倍率的SEM圖像和光學(xué)范圍的圖像,或者數(shù)字圖像(可用的文件格式是BMP,JPEG和TIFF)瀏覽樣品尋找視野。
RISM:通過點(diǎn)擊其位置,可以把感興趣的部分移動(dòng)到屏幕中心位置。ZOOM:通過拖動(dòng)將感興趣的點(diǎn)框起來,然后被框起來的區(qū)域?qū)⒆詣?dòng)居中并擴(kuò)大。
樣品臺(tái)移動(dòng)到某抓圖位置,即使選擇zui后拍攝的100張圖像中的任何一幅,都可以重現(xiàn)其樣品臺(tái)坐標(biāo)。
樣品座/真空系統(tǒng):支持多種觀察的樣品座:有適用于14和33(12.7毫米樣品托)個(gè)樣品的多用途樣品座。還有為特定目的而準(zhǔn)備的樣品座。擇樣品托號(hào)碼,按移動(dòng)鍵即可將選好的位置移動(dòng)到畫面中心。
SU3500在真空系統(tǒng)的閥門上采用可靠性高的氣動(dòng)閥。該氣動(dòng)閥在遭遇意外停電時(shí)可瞬間關(guān)閉。因此可以防止主機(jī)和樣品室的真空劣化。一般帶有低真空功能的電鏡需要2臺(tái)機(jī)械泵,而SU3500則只要一臺(tái)即可。
項(xiàng)目 | 描述 | |
二次電子分辨率 | 3.0nm(加速電壓=30kV,WD=5mm高真空模式) | |
7.0nm(加速電壓=3kV,WD=5mm高真空模式) | ||
背散射電子分辨率 | 4.0nm(加速電壓=30kV,WD=5mm低真空模式) | |
10.0nm(加速電壓=5kV,WD=5mm高真空模式) | ||
放大倍率 | 5 - 300,000倍(底片倍率*5) | |
7 - 800,000倍(顯示器顯示倍率*6) | ||
加速電壓 | 0.3 - 30kV | |
可變壓力范圍 | 6 - 650Pa | |
zui大樣品尺寸 | 直徑 200mm | |
樣品臺(tái) | X | 0 - 100mm |
Y | 0 - 50mm | |
Z | 5 - 65mm | |
R | 360° | |
T | -20° - 90° | |
可觀察區(qū)域 | 直徑 130mm (旋轉(zhuǎn)并用) | |
zui大樣品高度 | 80mm(WD=10mm) | |
馬達(dá)臺(tái) | 5軸標(biāo)配 | |
電子光學(xué)系統(tǒng) | 電子槍 | 預(yù)對(duì)中的鎢燈絲 |
物鏡光闌 | 4孔可動(dòng)光闌 | |
探檢測器 | 埃弗哈特 索恩利 二次電子探測器 | |
高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測器 | ||
EDX分析 | WD 10mm(取出角35°) | |
圖像顯示 | 操作系統(tǒng) | Windows® 7*7(如有更改,恕不另行通知) |
圖像顯示模式 | 全屏模式(1,280 × 960 像素) | |
小屏模式(800 × 600 像素) | ||
雙圖像顯示(800 × 600 像素) | ||
四屏幕顯示(640 × 480像素) | ||
信號(hào)混合模式 | ||
排氣系統(tǒng) | 操作 | 全自動(dòng)排氣 |
渦輪分子泵 | 210升/秒 × 1 | |
機(jī)械泵 | 135L/min(162L/min,60Hz)× 1 |
※1:以127mm×95mm (圖像尺寸4"×5") 的顯示尺寸規(guī)定倍率
※2:以345mm×259mm (像素1,280×960) 顯示尺寸規(guī)定倍率
※3:Windows® 是微軟公司在美國和其他國家的注冊商標(biāo)
※4:此重量不包括電源線和電源插座的重量
※5:此重量包括PC的重量 PC的重量是以2012年5月份發(fā)貨的PC為基準(zhǔn)
※6:顯示器以2012年5月份發(fā)貨的顯示器為基準(zhǔn)
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)