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更新時(shí)間：2024-11-22 13:23:14瀏覽次數(shù)：263評(píng)價(jià)
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| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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MTS系列三維形貌量測(cè)設(shè)備：光譜共焦傳感器結(jié)構(gòu)
光譜共焦位移傳感器是一種通過(guò)光學(xué)色散原 理建立距離與波長(zhǎng)間的對(duì)應(yīng)關(guān)系，利用光譜 儀解碼光譜信息，從而獲得位置信息的裝置。
在光譜共焦位移傳感器系統(tǒng)中，
系統(tǒng)的測(cè)量范圍受4個(gè)方面的因素影晌：
1. 光源光譜分布范圍
2. 色散鏡頭在工作波段范圍內(nèi)的軸向色差
3. 光譜儀的工作波段
4. 光纖耦合器的工作波段
光譜共焦優(yōu)勢(shì)
多功能光譜共焦傳感器
我們的光潛共焦傳感器通過(guò)高品質(zhì)光學(xué)鏡頭沿汜光軸在不同距離而非單個(gè)點(diǎn)上聚焦白光，所有的可見(jiàn)光波段都 在焦點(diǎn)上。這種多功能的光學(xué)傳感器為測(cè)雯技術(shù)開(kāi)辟了新的維度。
·任何材料都可測(cè)試- 非透明/ 透明材料，漫反射/ 反射， 吸收，彩色，粗糙/ 拋光
·同軸測(cè)試避免了陰影的影響
·斜面接受度和數(shù)值孔徑使得可測(cè)量角度在反 射表面可達(dá) 45° , 漫射率表面> 80°
· Z 軸分辨率和精度- 無(wú)需 Z 軸掃描獲取測(cè)試 結(jié)果，每個(gè)測(cè)試點(diǎn)都可傳遞一個(gè)測(cè)試值
·超快測(cè)試速度的多點(diǎn)線陣傳感器允許多點(diǎn)平行測(cè)試
·小且恒定的光斑尺寸可實(shí)現(xiàn)高的橫向分辨率
·光學(xué)探頭被動(dòng)，無(wú)需移動(dòng)任何部件或者嵌入電
路- 可保證高的熱穩(wěn)定性，長(zhǎng)時(shí)間的可靠性和重復(fù)性
測(cè)量方式對(duì)比
數(shù)碼類(lèi)顯微鏡
- 表面形貌需要做景深疊加，速度慢 - 視野小
- 掃描精度取決于Z軸電機(jī)和物鏡景深
激光共聚焦類(lèi)顯微鏡
- 表面形貌需要逐層掃描，速度慢 - 視野小
- 人為數(shù)據(jù)量測(cè)
三角反射型類(lèi)光譜共焦
- Z軸分辨率更低
- 掃描易出現(xiàn)盲區(qū)
- 透明材質(zhì)和鏡面材質(zhì)效果不佳
白光干涉
- 使用及維護(hù)成本高
- 不適合較大的樣品和起伏比較大的樣品
- 對(duì)表面比較粗糙的樣品效果不佳
MTS優(yōu)勢(shì)
非接觸式無(wú)損測(cè)量
最高20nm的Z軸分辨率
無(wú)需景深疊加速度更快
樣品表面反射率不受限制
提供表面三維全部信息
可自定義掃描區(qū)域
可接入Q-DTS
可接入西勵(lì)牛油果AI
MTS系列三維形貌量測(cè)設(shè)備技術(shù)參數(shù)
MTS 01 | MTS 02 | |||||
光學(xué)模組 | 量程 1 /mm | 0.2 | 1 | 0.24 | 0.6 | 10.6 |
點(diǎn)數(shù)/線 | 192 | 1200 | ||||
線長(zhǎng)/mm | 0.96 | 1.91 | 1.18 | 2.36 | 11.9 | |
點(diǎn)間隔/μm | 5 | 10 | 0.98 | 1.97 | 9.9 | |
Z軸分辨率/nm | 20 | 80 | 25 | 50 | 800 | |
精度 2 /nm | ±80 | ±300 | ±125 | ±250 | ±4000 | |
四軸電動(dòng)平臺(tái) | 采樣速率/Hz | 6000 | 36000 | |||
XY軸行程/mm | 350X350 | |||||
XY軸定位精度/μm | ±0.3 | |||||
XY軸重復(fù)定位精度/μm | ±0.15 | |||||
Z軸行程/mm | 5mm | |||||
Z軸定位精度/μm | ±0.2 | |||||
Z軸重復(fù)定位精度/μm | ±0.1 | |||||
T軸定位精度 | ±2 arcsec | |||||
T軸重復(fù)定位精度 | ±1 arcsec | |||||
掃描速度/mm/s | 80 | |||||
2D定位相機(jī) | 有效像素 | 2464×2056 | ||||
視野大小 | 8.6x7.2mm | |||||
光源 | LED點(diǎn)光 | |||||
軟件系統(tǒng) | 光譜共焦采集功能 | |||||
導(dǎo)航圖采集，定位功能 | ||||||
可選配Q-DTS數(shù)據(jù)互聯(lián)模塊，牛油果AI | ||||||
2D＆3D測(cè)量 | 長(zhǎng)度、寬度、高度、角度、體積等測(cè)量工具 | |||||
電腦系統(tǒng) | 可定制軟件功能 | |||||
報(bào)表輸出 | Word、Excel等 | |||||
①2kHz以上，測(cè)試量程隨頻率增加而降低
②20° C時(shí)垂直鏡面測(cè)量
所給數(shù)據(jù)來(lái)源于典型應(yīng)用中的測(cè)試，與其他特定情況的測(cè)試會(huì)有差異。后續(xù)印刷錯(cuò)誤，修訂，更新也會(huì)造成與表格中所列技術(shù)參數(shù)的不同。因此，不保證表格中此產(chǎn)品所給技術(shù)參數(shù)，測(cè)量結(jié)果和信息的一致性。
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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