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更新時(shí)間：2021-06-02 09:46:18瀏覽次數(shù)：1496評(píng)價(jià)
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),電子 |
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納米平移臺(tái)（壓電馬達(dá)型，10-1500mm行程）
XLS系列線性位移平臺(tái)，是由超聲波壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，可提供不同行程的精確定位。由于采用超聲波壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，速度可達(dá)到200mm/s，并且該平臺(tái)非常適用于掃描，可提供恒定的掃描速度，速度不穩(wěn)定性低于2%。
該平臺(tái)采用超聲波馬達(dá)，對(duì)于這種馬達(dá)平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)是通過(guò)接觸點(diǎn)的橢圓振蕩產(chǎn)生。如下圖所示。通過(guò)橢圓的振蕩推動(dòng)平臺(tái)產(chǎn)生微小移動(dòng)，并通過(guò)高頻率產(chǎn)生*的速度，并且沒有噪聲，電機(jī)在定位后可產(chǎn)生自鎖，由于馬達(dá)在橢圓振蕩的上端才會(huì)與平臺(tái)接觸，大大提高平臺(tái)的使用壽命通常在10-100km。
XLS系列平臺(tái)可提供不同的行程，行程范圍可達(dá)到100mm。為了適應(yīng)不同精度要求的應(yīng)用，平臺(tái)集成不同精度的位置傳感器，目前可提供的位置傳感器有1.25μm；330nm；78nm和1nm具體參數(shù)如下圖所示：
此外根據(jù)不同應(yīng)用可以選擇不同行程的平臺(tái)，可提供平臺(tái)行程參數(shù)如下：
此外，由于該平臺(tái)采用模塊化設(shè)計(jì)，可以組成多維位移平臺(tái)，例如：XY;XYZ,XYQ等。并且可以提供真空兼容和非磁位移平臺(tái)。
主要特點(diǎn)：
l 大行程 （100mm）
l 高精度（25nm）
l 高速度（100mm/s）
l 支持?jǐn)嚯娮枣i
l 可在真空和非磁環(huán)境
主要應(yīng)用：
l 光電子學(xué)
l 掃描電子顯微鏡
l 半導(dǎo)體生產(chǎn)
l 醫(yī)學(xué)和材料科學(xué)
l 生命科學(xué)與生物技術(shù)學(xué)
l 顯微鏡和計(jì)量學(xué)
納米平移臺(tái)（壓電馬達(dá)型，10-1500mm行程）
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