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相位偏折術(shù)/相位偏折測量系統(tǒng)

相位偏折術(shù)/相位偏折測量系統(tǒng)產(chǎn)品簡介：

 偏折測量技術(shù)（PDM）又稱為相位偏折術(shù)或條紋反射法，是一種非接觸式、低成本、高魯棒性且高精度的面形測量技術(shù),絕對檢測精度可達(dá)10-20nm RMS,可以用于平面、球面、非球面、離軸拋物面、自由曲面等面型的高精度檢測。具有測量角度大、非接觸、精度高、速度快等特點(diǎn)。

 上海昊量光電設(shè)備有限公司近日推出市面上shou款商業(yè)化的共軸偏折術(shù)測量系統(tǒng)，具有操作方便，檢測精度高（<15nm RMS）,應(yīng)用范圍廣等特點(diǎn)。相位偏折測量 系統(tǒng)主要由ccd相機(jī) 、LCD顯示屏和待測件三個部分組成，系統(tǒng)配置如下圖。LCD顯示屏投射提前生成好的結(jié)構(gòu)光正弦條紋，正弦條紋被待測鏡表面反射后發(fā)生畸變，CCD相機(jī)采集畸變后的條紋，再利用相位斜率映射關(guān)系從畸變的條紋圖中計算出待測鏡梯度信息，再根據(jù)基梯度數(shù)據(jù)的面形重構(gòu)算法，重建出待測鏡的面形。

圖1 偏折術(shù)測試系統(tǒng)

偏折術(shù)系統(tǒng)（PMD）產(chǎn)品優(yōu)勢：

• 檢測精度高：<15nm RMS

• 測量范圍寬：能夠測量平面、球面、非球面、離軸拋物面、自由曲面等；

• 對環(huán)境噪聲不敏感：具有非常強(qiáng)的抗環(huán)境干擾；

• 系統(tǒng)搭建簡單、性價比高：使用商業(yè)化的配件，對成像光路沒有特殊要求。

相位偏折術(shù)/相位偏折測量 系統(tǒng)測試案例：

圖2 平面鏡（λ/10）檢測

圖3 球面鏡（Thorlabs ,CM508-500-G01）檢測

圖4 離軸拋物面鏡檢測

圖5 ONERA公司TMA自由曲面檢測（右側(cè)為LUPHOScan輪廓儀測試結(jié)果）

相位偏折術(shù)/相位偏折測量 系統(tǒng)產(chǎn)品應(yīng)用：

隨著工業(yè)制造業(yè)發(fā)展，我國在航空航天、裝備制造、汽車工業(yè)、生物醫(yī)學(xué)與通信和微電子高科技等領(lǐng)域方面對鏡面和鏡面類等零件需求越來越大，其已經(jīng)成為了我國在通信行業(yè)的關(guān)鍵零件之一。制造過程中有一道必要工序就是面形檢測，目前的常用檢測方法存在檢測效率低，檢測精度不滿足要求等問題，隨著上海昊量光電設(shè)備有限公司相位偏折測量 系統(tǒng)（偏折術(shù)）推出，可以有效助力我國的科技項目。

關(guān)于昊量光電：

上海昊量光電設(shè)備有限公司是光電產(chǎn)品專業(yè)代理商，產(chǎn)品包括各類激光器、光電調(diào)制器、光學(xué)測量設(shè)備、光學(xué)元件等，涉及應(yīng)用涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫(yī)療、科學(xué)研究、國防、量子光學(xué)、生物顯微、物聯(lián)傳感、激光制造等；可為客戶提供完整的設(shè)備安裝，培訓(xùn)，硬件開發(fā)，軟件開發(fā)，系統(tǒng)集成等服務(wù)。