目錄:束蘊(yùn)儀器（上海）有限公司>>半導(dǎo)體專(zhuān)用檢測(cè)儀器設(shè)備>>XRD>> Wafer XRD-200晶圓x射線晶體定向儀分揀系統(tǒng)Wafer XRD
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更新時(shí)間：2024-09-12 09:15:14瀏覽次數(shù)：2261評(píng)價(jià)
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| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類(lèi) | 雙晶衍射 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子,航天,電氣 |
晶圓x射線晶體定向儀分揀系統(tǒng)Wafer XRD的特點(diǎn)：
◇ 自動(dòng)化的晶圓處理和分類(lèi)系統(tǒng)（例如：盒到盒）。
◇ 晶體取向和電阻率測(cè)量
◇ 晶片的幾何特征（缺口位置、缺口深度、缺口開(kāi)口角度、直徑、平面位置和平面長(zhǎng)度）的光學(xué)測(cè)定
◇ 未拋光的晶圓和鏡面的距離測(cè)量
◇ MES和/或SECS/GEM接口
晶圓x射線晶體定向儀分揀系統(tǒng)Wafer XRD的Omega-scan方法：
◇ 高的精度
◇ 測(cè)量速度： < 5秒/樣品
◇ 易于集成到工藝線中
◇ 典型的標(biāo)準(zhǔn)偏差傾斜度（例如：Si 100）： < 0.003 °，小于< 0.001 °。
全自動(dòng)化的晶圓分揀和處理系統(tǒng)
Freiberg Instruments的單晶XRD定向儀
主要里程碑：
◆ 1961 - EFG GmbH公司由X-ray Ing.集團(tuán)亞瑟·布拉達(dá)切克和他的兒子漢斯·布拉達(dá)切克創(chuàng)立。
◆ 1969 - 研制了世界上基于集成電路的x射線檢測(cè)計(jì)數(shù)裝置，名為 COUNTIX 130。
◆ 1989 - 開(kāi)發(fā) Omega-Scan 方法
BOSCH 要求提供圓形石英毛坯的定向測(cè)量系統(tǒng) - 振蕩器產(chǎn)量從 50% 提高到 95%
◆ 2005 - 將 Omega 轉(zhuǎn)移到其他材料，如SiC、藍(lán)寶石、GaN、GaAS、Si、Ni基高溫合金
◆ 2010 - 推出用于晶體取向測(cè)量的臺(tái)式 X 射線衍射儀 ( DDCOM )
全球售出 約 150臺(tái)石英分選系統(tǒng)
◆ 2015 - X 射線技術(shù)和 EFG GmbH 合并到 Freiberg Instruments GmbH
傳承60年德國(guó)工匠精神-三代X射線工程師
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