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?產(chǎn)品介紹

德國Freiberg Instruments 的弗萊貝格Omega/Theta XRD（X射線單晶定向儀-XRD晶體衍射儀）主要針對半導(dǎo)體晶體材料和光學材料生產(chǎn)研發(fā)，該儀器采用先進的Omega掃描方法測定晶體結(jié)構(gòu)并檢測單晶取向，具有成熟的單晶X射線衍射儀（XRD）技術(shù)，且可集成至全自動生產(chǎn)線中，是一臺可測大直徑的全自動晶圓和鑄錠定向檢測分揀設(shè)備。

?工作原理

• Omega/Theta XRD可測材料類型有Si、Ge、SiC、Al2O3（藍寶石）、石英、AlN、GaAs、LiNbO3、BBO、高溫渦輪葉片等 200多種半導(dǎo)體、光學、電子、高溫合金等單晶晶體；
• 可對整塊晶體取向mapping（弗萊貝格*）進行測量；
• 可測直徑大可達590mm（可根據(jù)需求定制更大檢測尺寸）；
• 檢測精度高達0.003° ，檢測速度快——5s/試樣；
• 可測搖擺曲線檢測晶體質(zhì)量；
• 制樣簡便，且可集成至全自動化生產(chǎn)線中，快速晶體質(zhì)量檢測分揀（日處理量高達5000片）。

?用戶群體

德國Freiberg Instruments（弗萊貝格儀器）公司Omega/Theta X射線衍射儀系列 （包括Omega/Theta XRD（X射線單晶定向儀-XRD晶體衍射儀））在國內(nèi)已有200多家客戶，如藍思科技、四聯(lián)集團、協(xié)鑫集團、廣東惠倫晶體、中電五十四所時頻事業(yè)部等。

而該儀器在歐美國家等國家晶體生產(chǎn)研發(fā)*企業(yè)中同樣應(yīng)用廣泛，如美國IPG Photonics公司、美國II-VI Advanced Materials公司、美國Crystal IS 公司、德國Si Crystal公司、波蘭熱舒夫理工大學。德國博世(Bosch)公司借助于此設(shè)備的Omega掃描技術(shù)，其石英振蕩器晶體產(chǎn)量從55%直接提升至95%。

?應(yīng)用實例

單晶渦輪葉片檢測圖：

α方向：

β方向：

γ方向：