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山東聊城科威化工儀器有限公司是一家國(guó)內(nèi)專業(yè)從事利用鈀擴(kuò)散純化氫氣原理生產(chǎn)及銷售硅外延用氫氣純化器為一體的氫氣純化器。公司于2017年7月在山東省聊城市東昌府區(qū)鳳凰工業(yè)園注冊(cè)成立，注冊(cè)資金達(dá)500萬(wàn)元人民幣。公司以打造氫氣純度達(dá)到99.9999%級(jí)別以上的的氫氣純化能力，該設(shè)備氫氣純化能力達(dá)到*水平，并擁有核心技術(shù)和自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。

山東省聊城市科威化工儀器有限公司

一、 用途

硅外延用氫氣純化器引進(jìn)*進(jìn)技術(shù)，為國(guó)內(nèi)各*生產(chǎn)的硅片提供了高效有力的支持，氫氣的純度直接影響硅片的質(zhì)量，硅外延氫氣純化器利用鈀擴(kuò)散原理是氫氣純度提高到99.99999%以上，從而有效提高硅外延的質(zhì)量，鈀擴(kuò)散提氫成為氫氣純化當(dāng)中的氫氣。也為各大專院校、科研單位、石油化工、輕工、電子、材料學(xué)、制藥、環(huán)保監(jiān)測(cè)、醫(yī)療衛(wèi)生等領(lǐng)域，化驗(yàn)室、實(shí)驗(yàn)室、分析室，提供粗氫精制成高純氫而研制的一種數(shù)控鈀擴(kuò)散純氫儀。

二、主標(biāo)要技術(shù)指

     氫氣純度：99.99999%以上                  氫氣純化量：5-15L/min

     原料氫壓力：≤0.8MPa                    純化氫壓力：可調(diào)

     原料氫含氫量：不小于50%                  使用溫度：≤400℃

三、硅外延用氫氣純化器工作原理

    氫分子和氫原子是所有化學(xué)元素中極小的分子和原子，如把鈀的單晶結(jié)構(gòu)考慮成為面心立方體，立方體的八個(gè)角為八個(gè)鈀原子所占有，六個(gè)面的中心部分為六個(gè)鈀原子所占有，在這個(gè)鈀原子的密集

堆積中，只有在鈀管表面能發(fā)生離解的氫原子才能通過(guò)，而其它元素的原子和分子，其直徑都大于鈀原子密集堆積的間隙，故不能通過(guò)。鈀擴(kuò)散法純化氫就是利用這個(gè)原理，擴(kuò)散透過(guò)鈀管的氫，其純度達(dá)

到99.99999%以上。

四、注意事項(xiàng)

   硅外延用氫氣純化器在使用時(shí)，裝置應(yīng)放在通風(fēng)良好，堅(jiān)固平坦的工作臺(tái)上，以防震動(dòng)，切忌室內(nèi)氫含量達(dá)到燃燒或爆炸極限（不能高于4%），本儀器的控溫部分設(shè)有超溫報(bào)警功能，當(dāng)溫度超過(guò)所需溫度時(shí)，會(huì)發(fā)出報(bào)警聲，應(yīng)立即停機(jī)檢查，以防爐內(nèi)溫度過(guò)高而燒壞鈀管，本儀器使用前必需用原料氣作*置換系統(tǒng)后，才能通電，以防系統(tǒng)內(nèi)置換不干凈，形成易燃易爆的H₂—O₂混合氣。