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詳細介紹
安捷倫Agilent TwisTorr 84FS渦輪分子泵TwisTorr拖動級技術能提高小分子氣體（如氫氣和氦氣）壓縮比，從而實現(xiàn)大抽氣量和城耐受高前級壓力，進而能使用更經(jīng)濟實惠、更小型的前級泵。該技術使得轉(zhuǎn)子能采用緊湊的設計，變得高效節(jié)能，并能保持較低的工作溫度。安捷倫懸浮軸承系統(tǒng)降低了噪音和振動，并能保證好的軸承工作條件，從而能延長工作壽命，大程度減少系統(tǒng)停機時間，并能確保長時間穩(wěn)定性。
特性：
1.創(chuàng)新的 TwisTorr 技術 — 能提高小分子氣體壓縮比，而非常小巧的轉(zhuǎn)子設計則實現(xiàn)了高性能和超小的系統(tǒng)體積。
2.耐受高前級壓力 — 允許使用更小的前級泵，從而降低了系統(tǒng)成本和尺寸。
3.安捷倫懸浮軸承系統(tǒng) — 低振動，低噪音，優(yōu)秀的軸承工作條件，延長泵的使用壽命，實現(xiàn)使用維護成本優(yōu)化，大程度減少系統(tǒng)停機時間，并保證長時間穩(wěn)定的抽氣性能。
4.*的軸承和干式潤滑劑 — 免維護、免油，實現(xiàn)任意角度安裝。
5.銅制水冷通道（可選） — 可避免腐蝕，優(yōu)化熱傳遞性能，降低用水量和使用維護成本。
典型渦輪泵應用：
安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵，其設計旨在實際應用中達到優(yōu)秀性能。泵的緊湊型設計滿足工業(yè)中的嚴苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護，并可避免錯誤使用。無論您是終端用戶還是原始設備制造商，安捷倫均可針對您的應用為您提供幫助和支持，或定制適合您的需求的系統(tǒng)。
安捷倫Agilent TwisTorr 84FS渦輪分子泵典型渦輪泵應用
| 領域 | 詳細說明 | 應用 |
| 質(zhì)譜和分析儀器 |
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| 科研中的真空應用 |
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| 工業(yè)真空加工 |
| 薄膜沉積：
設備加工：
一般工藝：
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| 納米技術儀器 |
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性能指標
技術規(guī)格
| 抽速： CFF 4.5 英寸或 ISO 63 配置：CFF 2.75 英寸 配置：KF 40 配置： |
N2：56 L/s N2：49 L/s | He：63 L/s/ He：46 L/s He：38 L/s/ |
H2：40 L/s H2：36 L/s |
Ar：57 L/s Ar：44 L/s |
| 全轉(zhuǎn)速氣體流量（使用推薦的前級泵） 風冷 (35 °C) 水冷 (25 °C, 65 L/h) | N2：100 sccm N2：100 sccm | Ar：70 sccm Ar：70 sccm | ||
| 壓縮比： | N2：≥ 1 × 1011 | He：2 × 106 | H2：5 × 104 | Ar：> 1 × 1011 |
| 極限真空*（使用推薦的前級泵） | < 5 x 10-10 mbar (< 3.75 x 10-10 Torr) | |||
| 入口法蘭 | CF 4.5 英寸（外徑） CF 2.75 英寸（外徑） | ISO 63 KF40 | ||
| 前級管道法蘭 | KF 16 NW | |||
| 轉(zhuǎn)速 | 81000 rpm（驅(qū)動頻率 1350 Hz） | |||
| 啟動時間 | < 2 分鐘 | |||
| 推薦的前級泵 | 機械：DS 40M-DS 102 干式泵：Agilent IDP-3，SH 110 | |||
| 工作位置 | 任意位置 | |||
| 操作環(huán)境溫度 | +5 °C 至 +35 °C | |||
| 空氣相對濕度 | 0 至 90%（非凝縮） | |||
| 烘烤溫度 | 入口法蘭至高溫度 120 °C（CFF 法蘭） 入口法蘭至高溫度 80 ℃（ISO 法蘭） | |||
| 潤滑油 | 持續(xù)性潤滑
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| 冷卻要求 | 風冷： 水冷： | 氣流溫度 +5 °C 至 +35 °C 冷卻水溫度：+15 °C 至 +25 °C 特別低的流速：65 L/h (0.30 GPM) 壓力：2 至 4 bar（45 至 75 psi） | ||
| 噪音壓力級別（全速運行時距離 1 m 處） | 40 dB(A) * | |||
| 儲存溫度 | -40 °C 至 +70 °C | |||
| 至高海拔 | 3000 m | |||
| 認證 | CE、C-CSA-US、RoHS 符合 2011/65/UE 要求 | |||
| 重量 kg（磅）： | 泵 ISO 63： | 泵 CFF 4.5 英寸： | 泵 CFF 2.75 英寸： | 泵 KF 40： |
* 平均值 ± 4 dB(A) 標準差
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