移動(dòng)平臺(tái):精密的三維移動(dòng)平臺(tái)
樣品腔尺寸:520(W)x 395(D)x150(H)mm
分析范圍:同時(shí)可以分析30種以上元素,五層鍍層
檢出限:可達(dá)2ppm,薄可測(cè)試0.005μm
鍍層厚度:一般在50μm以內(nèi)(每種材料有所不同)重復(fù)性:可達(dá)0.1%
同時(shí)檢測(cè)元素:多24個(gè)元素,多達(dá)五層鍍層
準(zhǔn)直器:0.3×0.05mm、Ф0.1mm、Ф0.2mm與 Ф0.3mm四種準(zhǔn)直器組