產品簡介
FS70Z
※目鏡、左輪、物鏡是可選擇的。
?具有接眼觀察部的小型顯微鏡單元
是金屬表面、半導體、液晶、樹脂等多種多樣的觀察對象。
?適用于YAG激光器(近紅外、可見、近紫外線、紫外線)的微細加工※1
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13717955887 |
物鏡378-166-1三豐Mitutoyo顯微鏡FS70ZD
FS70Z
※目鏡、左輪、物鏡是可選擇的。
?具有接眼觀察部的小型顯微鏡單元
是金屬表面、半導體、液晶、樹脂等多種多樣的觀察對象。
?適用于YAG激光器(近紅外、可見、近紫外線、紫外線)的微細加工※1
半導體電路的切割、修剪、修正、標記、薄膜(絕緣膜)的去除、加工、液晶濾色器等修復(缺陷修正)等。作為半導體不良分析用處理器等光學觀察部也是適合的。
?支持紅外光學系統(tǒng)※2
硅系的內部觀察、紅外線的光譜特性分析等。
?將支持明場、暗場、簡易偏振、微分干涉觀察的機型上線
?在反射照明光學系統(tǒng)中標準裝備有開口帶光圈的籠子照明
?通過內華德堡和長工作距離物鏡確保顯微鏡下的高操作性
※1:難以保證激光振蕩器搭載系統(tǒng)的綜合性能及安全性。
※2:另外需要紅外光源和紅外相機等。
標準接眼仕様 | 符號 | FS70Z | - | FS70ZD | FS70L | FS70L4 | |
コード No. | 378-165-1 | - | お問い合わせください | 378-166-1 | 378-167-1 | ||
ティルティング接眼仕様 | 符號 | - | FS70Z-TH | FS70ZD-TH | FS70L-TH | FS70L4-TH | |
コード No. | - | 378-165-3 | お問い合わせください | 378-166-3 | 378-167-3 | ||
正立像 | |||||||
観察像 | 明視野 | ● | ● | ● | ● | ||
明暗視野 | ● | ||||||
簡易偏光 | ● | ● | ● | ● | ● | ||
微分干渉 | ● | ● | ● | ||||
接眼レンズ(必須オプション) | 10×(視野數(shù) 24)?15×(視野數(shù) 16)?20×(視野數(shù) 12) | ||||||
鏡筒 | 三眼鏡筒 | 視野數(shù) | 24 | ||||
眼幅調整 | ジーデントップ型、調整範囲:51 ~ 76 mm | ||||||
ティルト角度 | 0 ~ 20°(-TH のみ)、アイポイント移動量約 114 mm | ||||||
光路 | 固定式 (接眼/ TV = 50% / 50%) | 切換式 (接眼/ 直筒= 100%/ 0%: 0% / 100%) | 固定式 (接眼/ TV = 50% / 50%) | 切換式 (接眼/ 直筒= 100%/ 0%:0% / 100%) | |||
カメラポートマウント部 | C マウント(アダプタ B※ 1 使用) アダプタBで同焦調整 | C マウント仕様 (同焦調整機構) | C マウント仕様 (グリーンフィルタ切換機構付 (同焦調整機構) | ||||
防護フィルタ | - | レーザ光カットフィルタ內蔵 | |||||
結像(チューブ)レンズ | 1 ~ 2 ×(可視補正)ズーム內蔵 | 1×(近赤外~可視~近紫外 補正)內蔵 | 1 ×(可視?紫外補正)內蔵 | ||||
レーザポート | 光學系 | - | 倍率:1× 波長: 355/532/1064 nm | 倍率:1× 波長:266/532 nm | |||
マウント部 | YAG レーザ発振器 (基本?第2?3 高調波)搭載可 | YAG レーザ発振器 (第 2?4 高調波)搭載可 | |||||
合焦部 | 粗微動 | 一軸粗微動(粗動:3.8 mm/ 1回転、微動:0.1 mm/ 1回転) | |||||
移動量 | 50 mm、左右ハンドル | ||||||
反射照明光學系 | 明視野落射照明(ケーラ照明?開口絞り付) | ||||||
照明裝置(オプション) | 12 V、100W ファイバ照明裝置(No.378-700)/15 V、150W ファイバ照明裝置(176-316)いずれも無段階ボリューム調光式、ライトガイド長 =1500 mm | ||||||
レボルバ(必須オプション) | 調心同焦マニュアルレボルバ4穴 / 調心電動レボルバ 5 穴 | マニュアルレボルバ4 穴 / 電動レボルバ4 穴 | 調心同焦マニュアルレボルバ4 穴 / 調心電動レボルバ 5 穴 | ||||
対物レンズ (必須オプション) | 観察用 | M Plan Apo M Plan Apo HR M Plan Apo SL G Plan Apo | BD Plan Apo BD Plan Apo HR BD Plan Apo SL | M Plan Apo M Plan Apo HR M Plan Apo SL G Plan Apo NIRシリーズ | |||
レーザ加工用 | - | NUVシリーズ ※レーザ発振器の使用波長から選択 | UVシリーズ | ||||
鏡筒部積載可能質量※ 2 | 約 14 kg(-TH:約 13.2 kg) | 約 13.9 kg(-TH:約 13.1 kg) | |||||
外観寸法 | P.27 參照 | ||||||
本體質量 | 6.6 kg(-TH:7.4 kg) | 6.7 kg(-TH:7.5 kg) |
物鏡378-166-1三豐Mitutoyo顯微鏡FS70ZD
UCHIMURA | 102HB2-EP |
UCHIMURA | 603AF-N |
UCHIMURA | 103AF-N |
TOGI | BOXTM-2001 |
HIBLOW | KP-6035S |
HORIBA | 6108-50B |
IHARA | KSS08-020E |
IHARA | SLC03-000J |
IHARA | SNP03-000J |
IHARA | SNP02-000J |
IHARA | KLN10-030CE |
IHARA | KLA10-000CE |
hirose | HT-728-02 |
ESTOOL | HRF150 |
TSUBAKI | BDTM101 |
EIKO SOKKI | T300K-007 |
HIOKI | LR8450 |
HIOKI | U8551 |
shinetsu | ST-65DG |
YOKOGAWA | 278610 |
MITUTOYO | 468-169 |