EH1200愛(ài)德華羅茨泵維修
愛(ài)德華
E2M0.7,E2M1.5,E2M18,E1M18,E2M28,E1M28,E2M40,E2M80,E2M175,E2M275
STOKES 212,STOKES 412,STOKES 612油封真空滑閥泵
RV3,RV5,RV8,RV12
EH250,EH500,EH1200,EH2600,EH4200羅茨泵
Edwards是的半導(dǎo)體、平板顯示器、LED和太陽(yáng)能電池制造集成解決方案提供商,是工業(yè)、制藥、化工、科研、加工、玻璃鍍膜、食品包裝行業(yè)以及廣泛的研發(fā)應(yīng)用的真空技術(shù)領(lǐng)者。 這些泵結(jié)構(gòu)緊湊,使用時(shí)非常安靜,具備*的潤(rùn)滑回路,可靠性高,配有各種附件,可以滿(mǎn)足特定的應(yīng)用需求。
Edwards廣泛提供不同粘性、不同規(guī)格的泵油,以使用戶(hù)使用機(jī)械真空泵獲得不同工況下的性能。生產(chǎn)時(shí)通過(guò)氫化處理工藝來(lái)降低礦物油的致癌風(fēng)險(xiǎn)。特別適合于高真空使用,即使是在高溫下也能有低蒸汽壓。
Edwards提供采用新工藝生產(chǎn)的Ultragrade15、19、20、70泵油。采用有機(jī)精制處理,也就是是采用特殊氫化工藝。該工藝有效去除氮、硫磺、氧和芳烴,只剩下礦物油基本成分,是真正意義上的無(wú)雜質(zhì)泵油。
再加以添加劑,Ultragrade泵油的真空性能得到進(jìn)一步提高,具有熱穩(wěn)定、抗氧化和防銹作用。油中的抗氧化劑能使真空泵在高溫下工作,同時(shí)不降低性能,以致于減少泵油更換次數(shù)。
EH機(jī)械增壓泵以簡(jiǎn)單的羅茨泵原理為基礎(chǔ),仍是受歡迎的泵,可用于壓力范圍為0.01至10 mbar、需要高抽速的應(yīng)用場(chǎng)合。此泵必須始終由另一個(gè)提供相對(duì)于大氣壓的高壓差的泵作為前級(jí)。
機(jī)械增壓泵在相對(duì)較低的壓力下工作,不會(huì)暴露在與前級(jí)泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下,因此高度可靠。
應(yīng)用
半導(dǎo)體制程
真空蒸餾
真空包裝
鋼脫氣
薄膜覆層
真空冶金
低密度風(fēng)洞
空間模擬
真空浸漬
油干燥和脫氣
制藥冷凍干燥
CO2激光
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