PIEZOCONCEPT 緊湊型的納米定位器
Z-STAGE是一款緊湊型Z型直接驅(qū)動納米定位器,具有高速能力。它可以與具有2×66毫米孔徑(LF66 / LFHS2)的2軸納米定位器結(jié)合使用,以獲得SPM3或SPM3LR。Z 載物臺可提供 5、10、25 或 50μm 的運(yùn)動范圍。
該納米定位器是我們高速產(chǎn)品線的一部分(提供高功率控制器)。
Z-STAGE是一個用于三維定位和運(yùn)動控制的設(shè)備,通常用于光學(xué)顯微鏡、激光刻錄機(jī)、芯片測試設(shè)備等需要精確控制Z軸運(yùn)動的應(yīng)用中。
Z-STAGE(Z軸平臺)是一種能夠在垂直方向(Z軸)上進(jìn)行精確定位和運(yùn)動的機(jī)械裝置。
它通常由一個或多個驅(qū)動器、導(dǎo)軌、滑塊以及相關(guān)的傳感器和電子控制部件組成。
Z-STAGE具有以下特點(diǎn)和功能:
高精度定位:Z-STAGE通過精確控制驅(qū)動器和導(dǎo)軌系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)對Z軸的高精度定位。這種精度能夠滿足對樣品或工件位置的微調(diào)和精確控制需求。
平穩(wěn)運(yùn)動:Z-STAGE采用的運(yùn)動控制算法和機(jī)械設(shè)計,確保平穩(wěn)的Z軸運(yùn)動。它可以在不引起震動或抖動的情況下,實(shí)現(xiàn)快速而準(zhǔn)確的運(yùn)動。
自動化控制:Z-STAGE可以與其他自動化系統(tǒng)或設(shè)備進(jìn)行連接,通過相應(yīng)的接口和通信協(xié)議實(shí)現(xiàn)自動化控制。這使得它適用于需要自動掃描、定位、聚焦等功能的應(yīng)用。
高負(fù)載能力:一些Z-STAGE具有高負(fù)載能力,可以承受較重的樣品或工件。這使得它們適用于要求同時進(jìn)行精確定位和支撐重物的應(yīng)用。
可編程性:一些Z-STAGE具有可編程的控制器,可以通過編寫特定的指令和程序,實(shí)現(xiàn)復(fù)雜的運(yùn)動路徑和運(yùn)動模式。
PIEZOCONCEPT 緊湊型的納米定位器