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警告：必須要非常小心地處理有毒的、腐蝕性的或易燃易爆的氣體。在質(zhì)量流量控制器/ 流量計安裝之后，應(yīng)該*的檢查整個氣路以保證沒有氣體泄漏。通入腐蝕性氣體之前應(yīng)先通一個小時的干燥惰性氣體以清洗質(zhì)量流量控制器/流量計。

重要提示：當(dāng)安裝質(zhì)量流量控制器/流量計時，確保產(chǎn)品通道所示的箭頭方向與流經(jīng)產(chǎn)品的氣體流動方向相同

七星流量計在大多數(shù)應(yīng)用場合下，需要在氣路中安裝一個截止閥。截止閥與 MFC 或 MFM 間的截留加壓氣體將會產(chǎn)生清洗效果，用戶應(yīng)根據(jù)情況來決定截止閥的安裝位置(上游或下游)。為了防止污染，建議您在產(chǎn)品的上游管路中安裝過濾器。

注意 :  氣體質(zhì)量流量計和質(zhì)量流量控制器出廠通常用氮氣（N2）標(biāo)定。

質(zhì)量流量的單位規(guī)定為: SCCM (標(biāo)準毫升/分);

SLM (標(biāo)準升/分)

標(biāo)準狀態(tài)規(guī)定為: 溫度 —— 273.15K ( 0℃ );

氣壓 —— 101325 Pa (760mm Hg)

在七星流量計 MFC/MFM 產(chǎn)品中心，單位 SCCM 和“mL/min, 0℃,1atm”等同，單位 SLM 和“L/min, 0℃,1atm”等同。

F.S.  (Full  Scale): 滿量程值 ； S.P.(Set Point)： 設(shè)定點值