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七星華創(chuàng)流量計(jì)質(zhì)量流量計(jì)(Mass Flow Meter 縮寫為 MFM) 用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量；質(zhì)

量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量

和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)

保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場合包括: 電子工藝

設(shè)備, 如擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入; 以及鍍膜設(shè)備、光纖

熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器。

七星華創(chuàng)流量計(jì)使用腐蝕性氣體問題

流量計(jì)氣流通道采用的材料為: 00Cr17Ni14Mo2 (相當(dāng)于 316L 不銹鋼)，氟橡膠等耐蝕材

料。在用戶系統(tǒng)無水汽、低泄漏、勤清洗、使用得當(dāng)?shù)臈l件下，可以用于控制一般的腐蝕

性氣體。使用氨氣的用戶應(yīng)在定貨時(shí)聲明。9E、9EM 型流量計(jì)產(chǎn)品不能用于有機(jī)溶劑蒸汽

（如丙酮等）和 BCl3、BBr3 等強(qiáng)腐蝕性氣體。閥口的密封材料通常為氟橡膠或耐氨橡膠，

對于 9E 型質(zhì)量流量控制器也可以選用聚四氟乙烯；當(dāng)選用四氟乙烯時(shí)，閥口容易出現(xiàn)漏氣，

閥口密封的漏氣率小于滿量程流量的 2%；對于使用特殊腐蝕性氣體，所有密封材料都要作

相應(yīng)改變。