EMMI微光顯微鏡

概述

Thermo Scientific™ Meridian™ S System，該系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于通過探針卡或微探針對(duì)靜態(tài)偏壓激勵(lì)的器件進(jìn)行反向光子發(fā)射（EMMI）和激光掃描顯微鏡分析。由于系統(tǒng)的總體擁有成本是盈利能力的一個(gè)關(guān)鍵方面，Meridian S系統(tǒng)提供了一系列光子發(fā)射選項(xiàng)、雙面探測(cè)靈活性和動(dòng)態(tài)光學(xué)故障隔離能力的升級(jí)路徑，如激光電壓成像/探測(cè)和軟缺陷定位。

Meridian S系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于世界各地的故障分析實(shí)驗(yàn)室，有助于：

•識(shí)別系統(tǒng)過程、設(shè)計(jì)或集成問題

•隔離隨機(jī)電氣故障的根本原因,微光顯微鏡EMMI半導(dǎo)體芯片檢測(cè)_Meridian S_美國賽默飛

系統(tǒng)級(jí)規(guī)范：

•倒置光學(xué)系統(tǒng)

•組合系統(tǒng)：LSM+PEM標(biāo)準(zhǔn)，具有可選的僅LSM或僅PEM配置

•220VAC，50Hz/60Hz

•標(biāo)準(zhǔn)9“x 9"加載板接口，以及可定制的替代方案

•測(cè)試儀直接對(duì)接兼容

•級(jí)重復(fù)性≤2μm

•用于缺陷再檢測(cè)的可選激光標(biāo)記

光子發(fā)射顯微術(shù)（PEM）

光子發(fā)射顯微鏡（PEM）收集由IC器件活動(dòng)或某些電氣故障產(chǎn)生的少量光。

Thermo Scientific Meridian WaferScan和WS-DP系統(tǒng)提供了一系列紅外探測(cè)器系統(tǒng)，能夠分析寬光譜波長和工作電壓下的輻射，以及一套軟件分析工具，包括質(zhì)心識(shí)別、背景減法和多瓦鑲嵌。

光子發(fā)射選項(xiàng)：

•TE冷卻320 x 256 InGaAs

•TE冷卻640 x 512 InGaAs

•液氮冷卻640 x 640 InGaAs

•液氮冷卻1k x 1k InGaAs

•液氮冷卻1k x 1k寬帶DBX光子發(fā)射規(guī)范：

•照明（導(dǎo)航）@1200nm LED

•超低讀取噪聲和暗電流

•大型軟件工具套件，包括熱點(diǎn)覆蓋、實(shí)時(shí)發(fā)射、多文件拼接和芯片間比較

光子發(fā)射疊加在器件的光學(xué)圖像上

靜態(tài)激光刺激（SLS/OBIRCH）

Meridian系統(tǒng)上帶有有源探針技術(shù)的故障診斷（FDx）提供了一套技術(shù)來隔離有源區(qū)的電氣和IDDQ故障，以及設(shè)備內(nèi)的金屬化。有源探頭和有源噪聲消除降噪方案的設(shè)計(jì)使對(duì)廣泛的缺陷類型具有最大的靈敏度。

EMMI微光顯微鏡