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        1. 皕赫科學儀器(上海)有限公司
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          瑞士IDONUS 離子注入表面處理系統(tǒng)

          參  考  價面議
          具體成交價以合同協(xié)議為準

          產(chǎn)品型號

          品       牌其他品牌

          廠商性質代理商

          所  在  地上海市

          更新時間:2024-11-24 08:43:54瀏覽次數(shù):314次

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          產(chǎn)地類別 進口 應用領域 環(huán)保,化工,電子,電氣,綜合
          關于瑞士IDONUS 離子注入表面處理系統(tǒng)
          瑞士idonus是一家專注于微型工程行業(yè)專業(yè)設備設計和制造的微技術公司。核心競爭力有:MEMS設備(MicroElectroMechanical Systems)、離子注入 機器視覺和光學解決方案、光伏設備、工程服務和原型或小批量生產(chǎn)

          瑞士IDONUS 離子注入表面處理系統(tǒng)


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          產(chǎn)品描述

          VPE由反應室和蓋子組成。加熱元件集成在蓋子中。它控制要蝕刻的基板的溫度。晶圓夾持可以通過兩種方式實現(xiàn):晶圓可以通過使用夾緊環(huán)進行機械夾緊。擰緊是從設備的背面完成的,該背面從不與 HF 蒸汽接觸。3 個螺母易于戴防護手套處理。另一種選擇是靜電夾緊。單個芯片(長度超過 10 毫米)和晶圓可以夾在加熱元件上。晶圓的背面受到保護,不會被蝕刻。

          液態(tài)HF被填充到反應室中。反應室用蓋子封閉。HF蒸氣在室溫下產(chǎn)生,蝕刻過程自發(fā)開始。蝕刻速率由晶圓溫度控制,晶圓溫度可在 35°C 至 60°C 之間調節(jié)。 處理后,酸可以儲存在儲液罐中,以便在可密封的容器中重復使用。
          液體輸送只需用手柄降低連通儲液罐即可完成。由于重力作用,酸流入儲層,可以通過兩個閥門關閉。通過打開閥門并抬起手柄來重新填充反應室。酸流入反應室。酸可以重新用于多次蝕刻,直到必須更換。
          VPE系統(tǒng)占地面積小,可以很容易地集成到現(xiàn)有的流箱中。


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