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海德漢heidenhain敞開式直線光柵尺

海德漢316222-01

海德漢敞開式光柵尺

LIC 4193F、LIC 4115

LIC 4197M、LIC 4199P、

LIC 2117、LIC 2197P、

LIC 2119、LIC 2199M、

LIP 382、LIP 281、LIP 581、

LIP 471、LIF 481、LIDA 473、

LIDA 475、LIDA 487、

LIDA 489、LIDA 277

封閉式光柵尺能防塵、防切屑和防飛濺的切削液，是用于機床的選擇。

敞開式光柵尺與讀數(shù)頭和光柵尺或鋼帶間沒有機械接觸。這些光柵尺的典型應(yīng)用包括：測量機、比較儀和其它長度計量精密設(shè)備以及和測量設(shè)備，例如用在半導(dǎo)體工業(yè)中。

增量式光柵尺決定當前位置的方式是由原點開始數(shù)測量步距或細分電路的計數(shù)信號數(shù)量。海德漢的增量式光柵尺帶有參考點，開機時必須執(zhí)行參考點回零，操作非常簡單、快捷。

式光柵尺無需執(zhí)行參考點回零操作就能直接提供當前位置值。光柵尺的位置值通過EnDat接口或其它串行接口傳輸。'

海德漢光學(xué)掃描的直線光柵尺或編碼器的

測量基準都是周期刻線－光柵。

這些光柵刻在玻璃或鋼材基體上。對于大

長度的光柵尺，用鋼帶作為光柵尺基體。

海德漢公司用以下特別開發(fā)的光刻工藝制

造精密光柵。

• METALLUR：抗污染的鍍金層金屬柵

線；典型柵距：40 μm

• DIADUR：玻璃基體的超硬鉻柵線（典

型柵距：20 μm）或玻璃基體的三維鉻

線格柵（典型柵距：8 μm）

• SUPRADUR相位光柵：光學(xué)三維平面格

柵；強抗污能力；典型柵距：不超過8 μm

• OPTODUR相位光柵：光學(xué)三維平面格

柵，超高反光性能；典型柵距：不超過2 μm

除極小柵距外，由該工藝刻制的光柵擁有

優(yōu)異的邊緣清晰度和均勻性。結(jié)合光電掃

描法，邊緣清晰的刻線是輸出高質(zhì)量信號的關(guān)鍵。

母版光柵采用海德漢公司定制的精密刻線機制造。

LICLIC敞開式直線光柵尺用于測量高速運動的行程達27 m內(nèi)的位置。其尺寸和安裝方式與LIDA 400相同。

　　LIPLIP敞開式直線光柵尺的測量步距非常小、精度和重復(fù)精度非常高。掃描方式為干涉掃描，測量基準為DIADUR相位光柵。

　　LIFLIF敞開式直線光柵尺的測量基準是SUPRADUR玻璃基體光柵，掃描方式為干涉掃描。特點是精度和重復(fù)，安裝簡單，有限位開關(guān)和回零軌。特殊型號的LIF 481 V可用于10–7 bar的真空環(huán)境中。

LIC敞開式直線光柵尺能夠?qū)π谐踢_28 m和高速運動進行位置測量。其尺寸和安裝方式與 
LIDA 400相同。 
LIP 200
LIP 211和LIP 291增量式直線光柵尺輸出位置值的位置信息。正弦掃描信號在讀數(shù)頭中被高倍頻 
細分且其計數(shù)功能將細分的信號轉(zhuǎn)換成位置值。與所有增量式編碼器一樣，借助參考點確定 
原點。 
LIP

超

LIP敞開式直線光柵尺擁有極小的測量步距，*的精度和重復(fù)精度。掃描方式為干涉掃描，測 
量基準為DIADUR相位光柵。

海德漢heidenhain敞開式直線光柵尺