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          南京淳寅嘉生物科技有限公司>>合肥科晶>>CVD/PECVD/ALD系統(tǒng)>> OTF-1500X-III-4CV三溫區(qū)1500°C PECVD系統(tǒng)

          三溫區(qū)1500°C PECVD系統(tǒng)

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          • 三溫區(qū)1500°C PECVD系統(tǒng)
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          參考價 面議
          具體成交價以合同協(xié)議為準
          • 型號 OTF-1500X-III-4CV
          • 品牌 合肥科晶
          • 廠商性質 經(jīng)銷商
          • 所在地 南京市
          在線詢價 收藏產(chǎn)品

          更新時間:2021-03-09 16:47:43瀏覽次數(shù):299

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          產(chǎn)品簡介

          產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應用領域 環(huán)保,化工,電子
          三溫區(qū)1500°C PECVD系統(tǒng) OTF-1500X-Ⅲ-4CV-PE-SL是一款三溫區(qū)1500℃的PECVD管式爐系統(tǒng),它是由500W的射頻電源,1500℃三溫區(qū)管式爐、多通道質子混氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成。此款PECVD系統(tǒng)對于生長納米線、石墨烯或SiC薄膜是一個新的實驗幫手。

          詳細介紹

          三溫區(qū)開啟式1500°C管式爐

          工作溫度1500℃連續(xù)使用溫度1400℃

          個溫區(qū)分別由三個溫控系統(tǒng)來控制,都可設置30段升降溫程序每個溫區(qū)長度為200mm總溫區(qū)長度為600mm爐管為高純剛玉管

          爐管尺寸∶(標配)60ODx53IDx1500mmL爐管尺寸∶(選配)800O.Dx73IDx1500mmL輸入電源∶ 208-240VAC,單相功率∶ 6.6KW

          配有一對不銹鋼真空密封法蘭,法蘭上帶有石英觀察窗口

          內爐膛表面涂有美國進口的1760度高溫氧化鋁涂層,可以提高設備加熱效率及反射率,同時延長儀器的使用壽命。

          射頻電源

          輸出功率∶5-500W±1%

          射頻頻率∶13.56 MHz ±0.005%.

          反射功率∶ 200W

          匹配∶自動

          射頻接口∶50 Ω,N-type

          噪音∶<50 dB.

          冷卻∶風冷

          電源∶AC 208-.240V;5060Hz

           

          防腐型真空計

          輸入電源 24V,1A DC(配有一電壓轉換器)

          測量范圍 3.8x10-5 1125 Torr.

          數(shù)據(jù)顯示 數(shù)字顯示(屏幕尺寸為20x14mm),其數(shù)據(jù)顯示單位為tor接頭 1/8"NPT 接頭

          產(chǎn)品尺寸 46mm×28mm×126mm(Lx WxH)

          真空系統(tǒng)

          采用TRP-12的雙旋真空泵,極限真空10E.3 Torr

          KFD25快接,不銹鋼波紋管,手動擋板閥與法蘭,真空泵相連管內真空可達10E-2 Torr

          質量流量計混氣系統(tǒng)

          四個精密的質量流量計(精度15%)∶數(shù)字顯示,自動控制. MFC 1范圍∶0~100 cm MFC 2和3∶ 0~200 sccm MFC 4范圍∶0~500 scm一個混氣罐,底部裝有泄廢液口.

          4個不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側,可手動控制4種氣體進氣口∶4個14NPS.出氣口∶4個 14NPs.

          采用PLC控制流量計,通過觸摸屏進行控制

          溫控系統(tǒng)

          三個溫區(qū)分別由三個溫控系統(tǒng)控制采用PID方式調節(jié)溫度,可設置30段升降溫程序帶有超溫和斷偶保護控溫精度∶ +/- 1 °℃控溫儀表操作視頻

          可選;此款設備可以安裝控制模塊,將溫度設置和溫度曲線導入到電腦

          外形尺寸

          爐體∶ 550x380x520 mm爐體下端移動柜∶ 1800×600×600mm凈重∶ 220Lbs.運輸重量∶ 1200lbs

           

          質保期一年質保,終生維護
          質量認證

          CE認證

          所有電器元件(>24V)都通過UL /MET/CSA認證

          若客戶出認證費用,本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證

           

           

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