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        1. 上海睿丹自動化儀表有限公司
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          OPTI-Sense系列-半導(dǎo)體氣體分析儀
          • OPTI-Sense系列-半導(dǎo)體氣體分析儀
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          貨物所在地:上海上海市

          更新時間:2024-11-06 14:07:28

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          半導(dǎo)體氣體分析儀OPTI-Sense系列傳感器建立在非色散紅外測量法基礎(chǔ)上,能夠精確測量半導(dǎo)體應(yīng)用中產(chǎn)生的特種氣體的紅外光譜吸收。該儀器設(shè)計緊湊,且無移動部件,適合在半導(dǎo)體工業(yè)流程中用于連續(xù)的...

          半導(dǎo)體氣體分析儀OPTI-Sense系列傳感器建立在非色散紅外測量法基礎(chǔ)上,能夠精確測量半導(dǎo)體應(yīng)用中產(chǎn)生的特種氣體的紅外光譜吸收。該儀器設(shè)計緊湊,且無移動部件,適合在半導(dǎo)體工業(yè)流程中用于連續(xù)的...

          內(nèi)置的診斷系統(tǒng)包含在軟件當(dāng)中。全部OPTI-Sense系列傳感器都配有模擬和數(shù)字交互,使得它們可以簡單的整合進(jìn)任何工業(yè)流程。

          半導(dǎo)體氣體分析儀支持的氣體

          SiF4
          CF4
          SiF3
          SF6
          CO
          NF3
          CO2
          WF6
          和其他氣體

          半導(dǎo)體氣體分析儀規(guī)格參數(shù)
          測量原理 :非色散紫外吸收法
          應(yīng)用 :現(xiàn)場測量
          光源 :脈沖紅外發(fā)射器
          材料 :抗腐蝕的光學(xué)元件,
          不銹鋼接觸液體的部件
          尺寸 (高x寬x長) :5.00" x 8.75" x 3.25" (包含光源和探測器)
          重量 :< 5 lbs
          模擬輸出 :出廠設(shè)置為 0 – 1, 5, 或 10 volt
          數(shù)字交互 :RS-232 C和可選的GUI交互
          響應(yīng)時間 :< 10秒
          電源 :15 VDC – 小于 10 瓦特 (可選AC 電源)
          采樣端口 :KF16 – 304 SS (可選其他選項(xiàng))
          校零 :支持遠(yuǎn)程校零
          漏氣測試 :真空密封測試
          軟件 :嵌入 (標(biāo)準(zhǔn)) - Labview GUI 交互(可選)
          認(rèn)證 :CE
          保修 :1 年

          半導(dǎo)體氣體分析儀特征
          NDIR 非色散紅外測量法
          適用于任何吸收紅外光的氣體
          響應(yīng)時間快
          高敏感度
          氣體特異性
          無耗材
          無移動部件
          GUI LabView軟件(可選)






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