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當前位置:上海攸亦光電科技有限公司>>光學元件>> CVD鑽石光學元件
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所 在 地上海市
更新時間:2022-11-25 10:33:11瀏覽次數(shù):869次
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組件類別 | 其他 |
CVD鑽石光學元件
CVD鑽石光學元件
多晶CVD金剛石由于其出色的性能,長期以來一直被認為是各種應用的終/極材料。它優(yōu)良的硬度是精密工具和加工工藝的優(yōu)勢。金剛石的高導熱性使它在熱管理應用中非常有用。其廣泛的光學傳輸范圍使金剛石窗口能夠進入半導體制造的尖/端光刻系統(tǒng)。此外,它在微波波段的透明度為微波工程的應用開發(fā)開辟了一個完整的世界。在其較純凈的形式下,多晶CVD鉆石沒有電子陷阱,使其成為高能應用中使用的超敏感核探測器的理想材料。
通過等離子體化學氣相沉積法生長,II-VI公司的鉆石產(chǎn)品經(jīng)過優(yōu)化,充分利用了使鉆石成為超級材料的品質(zhì)。II-VI Incorporated將晶體生長與較*的光學級加工相結(jié)合,通過整形和拋光、質(zhì)量保證和涂層,其廣泛的CVD金剛石產(chǎn)品組合包括高透明度的微波窗和靈敏度最高的金剛石核探測器。II-VI Incorporated對金剛石材料研究和開發(fā)的強烈承諾使我們能夠與希望利用多晶CVD金剛石的驚人品質(zhì)的所有市場客戶密切合作。
透明窗和光學器件
在II-VI ,光學金剛石正在大批量生產(chǎn)。我們一直在生產(chǎn)具有優(yōu)質(zhì)光學質(zhì)量的材料(低1微米散射,低10.6微米體吸收,低632.8納米的雙折射),其截面尺寸和厚度范圍廣泛。
通過利用制造和涂層方面的核心技術(shù),II-VI ,成為極紫外光鉆石窗口的優(yōu)良品牌,這對下一代半導體制造的*光刻工具至關(guān)重要。
熱管理解決方案
通過調(diào)整我們的生長過程,II-VI ,已經(jīng)開發(fā)出為各種高性能熱管理應用生成多晶CVD金剛石的能力。熱導率的規(guī)格范圍高達2200 W/m-K以上。利用我們優(yōu)良的制造設(shè)施,我們能夠根據(jù)客戶的規(guī)格制造出直徑大至145mm、厚度達2mm的超平和超光滑的部件,以確保與設(shè)備的優(yōu)良的熱接觸。
微波透明光學器件
II-VI 制造高質(zhì)量的鉆石光學產(chǎn)品,在微波區(qū)域是透明的。結(jié)合我們內(nèi)部對直徑大至145mm的窗口和透鏡進行拋光和鍍膜的能力,II-VI 已經(jīng)準備好滿足核聚變研究等領(lǐng)域?qū)ξ⒉ㄍ该鞑牧系男枨蟆?/p>
加工解決方案
II-VI 已經(jīng)開發(fā)出一種金剛石薄膜,在加工較堅硬的材料時,擁有堪稱典/范的硬度和磨損率。通過將我們較*的拋光和制造技術(shù)與我們內(nèi)部的激光制造設(shè)施相結(jié)合,我們能夠以有競爭力的價格生產(chǎn)出優(yōu)良的產(chǎn)品。
核檢測器解決方案
使用精細調(diào)整的超高純生長工藝,II-VI ,生長出的多晶金剛石薄膜表現(xiàn)出優(yōu)良的電荷收集距離。對于500微米厚的成品部件,可以獲得一致的結(jié)果。
主要的CVD鉆石應用
CVD金剛石的應用包括多光譜激光光學、介電窗、散熱片等。
金剛石是各種應用的終/極材料,因為它具有出色的性能,包括極/強的硬度和強度、高導熱性、低熱膨脹、出色的介電性能、抗化學侵蝕以及在寬光譜范圍內(nèi)的光學傳輸。
我們在較*的生長和制造設(shè)施中生產(chǎn)高質(zhì)量的多晶CVD金剛石基片。材料采用等離子體輔助化學氣相沉積工藝生長,用激光切割成所需的尺寸,并按照客戶的要求對表面進行加工。我們還提供其他特殊的制造服務,如邊緣研磨、激光雕刻以及光學組件的設(shè)計和制造。II-VI ,專門為金剛石基片提供*的光學涂層,包括單波長或多光譜應用的AR、HR和TFP。
II-VI 所提供的一些產(chǎn)品包括。
用于工業(yè)激光應用的高功率CO2激光窗口(10微米范圍)。
用于工業(yè)或研究應用的高功率多光譜激光窗口。
用于聚變和定向能應用的高功率mm波窗口
用于極/端熱管理應用的熱擴散器
用于需要超硬材料的機械應用的產(chǎn)品。
主要的CVD鉆石應用
CO2激光窗(10.6µm)
- 高功率工業(yè)激光器
高功率微波窗
- 陀螺儀、聚變反應堆
- 雷達、定向能應用
熱管理
- 散熱器
生長方法 | 等離子化學氣相沉積 |
物理特性
結(jié)構(gòu) | 立方,多晶 |
晶粒大小 | 取決于厚度和工藝(0.05 - 1mm) |
等級 | 光學、熱、微波、探測器、機械、客戶定制 |
厚度* | 最大 2 mm |
制造能力*
尺寸 | 激光切割客戶規(guī)格,最大直徑145mm |
尺寸公差 | +/- 50µm |
拋光縱橫比 | 高達 50:1 的直徑高達 145 mm |
功率 | <0.5_fr/cm |
不規(guī)則度 | <0.5_fr/cm |
透射波前 | <0.5_fr/cm |
表面粗糙度 | <15nm |
熱性能(熱級材料)
導熱系數(shù) | 室溫下高達 >2,200 (W/mK) |
熱膨脹系數(shù) | 1 (10-6 K-1) |
比熱 (25oC) | 0.536 (J g-1 K-1) |
光學特性(光學級材料)*
體積吸收@10.6µm <0.07(cm-1) | <0.07(cm-1) |
體積吸收@1um <1(cm-1) | <1(cm-1) |
散射@1µm <0.7(cm-1) | <0.7(cm-1) |
微波級材料
微波損耗角正切(Tan δ) | <2e-5 |
*這代表標準生產(chǎn)。 可根據(jù)要求提供產(chǎn)品數(shù)據(jù)表和規(guī)格。
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