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產(chǎn)地類別 | 進口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡OLS5100,能夠通過非接觸、非破壞的觀察方式輕松實現(xiàn) 3D 觀察和測量。僅需按下“Start(開始)"按鈕,用戶就能在亞微米級進行精細的形貌測量。該產(chǎn)品不僅易于使用,更具備功能,能夠提供四倍于上一代型號的采集速度。對于需要觀察大型樣品的客戶,LEXT 的長工作距離物鏡和選配的擴展機架使得系統(tǒng)能夠適用于為 210mm 的樣本。
奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡OLS5100技術(shù)規(guī)格
激光共聚焦顯微鏡OLS5100可觀察納米范圍的臺階,并可測量亞微米級別的高度差。還可以測量從線到面的表面粗糙度。配備的兩套光學系統(tǒng)(彩色成像光學系統(tǒng)和激光共焦光學系統(tǒng))讓其能夠獲取彩色信息、高度信息和高分辨率圖像。
激光共聚焦顯微鏡OLS5100 有4大關(guān)鍵價值:
捕捉任意表面形狀。
快速獲得可靠數(shù)據(jù)。
使用簡單 - 只需放置樣品并按一下按鈕即可。
測量具有挑戰(zhàn)性的樣品。
價值1:捕捉任意表面形狀。
OLS5100顯微鏡的技術(shù)使其能夠進行高分辨率的3D樣品測量。
價值2、快速獲得可靠數(shù)據(jù)
該顯微鏡的掃描算法既可提高數(shù)據(jù)質(zhì)量又可提高速度,從而縮短您的掃描時間,簡化您的工作流程,最終實現(xiàn)生產(chǎn)力的提升。
價值3、使用簡單,只需放置樣品并按一下按鈕即可
LEXT® OLS5100顯微鏡具有自動數(shù)據(jù)采集功能,因而無需進行復雜的設(shè)置調(diào)整。 甚至生疏的用戶也可以獲得準確的檢測結(jié)果。
價值4、可測量具有挑戰(zhàn)性的樣品
低輸出、非接觸式無損激光測量意味著不需要樣品制備??梢栽诓粨p壞易損性材料的情況下對其進行測量。擴展架可容納高達210毫米的樣品,而超長工作距離物鏡能夠測量深度可達25毫米的凹坑。在測量這兩類樣品時,您只需將樣品放在載物臺上即可。
激光共聚焦顯微鏡OLS5100獲取彩色信息
彩色成像光學系統(tǒng)使用利用白光LED光源和CMOS相機獲取彩色信息。
[獲取3D 高度信息和高分辨率共焦圖像]
激光共焦光學系統(tǒng)采用405納米激光二極管光源和高靈敏度光電倍增管獲得共焦圖像。淺焦深使其能夠用于測量樣品的表面不規(guī)則性。
激光共聚焦顯微鏡OLS5100 405納米激光光源
光學顯微鏡的橫向分辨率隨著波長的減小而獲得提升。采用短波長激光的激光顯微鏡相比采用可見光(峰值550納米)的傳統(tǒng)顯微鏡具有更優(yōu)的橫向分辨率。 OLS5100顯微鏡利用405納米短波長激光二極管獲得的橫向分辨率。
激光共聚焦顯微鏡OLS5100激光共焦光學系統(tǒng)
激光共焦光學系統(tǒng)僅接收通過圓形針孔聚焦的光線,并非采集從樣品上反射和散射的所有光線。這樣有助于消除模糊,讓其能夠獲得比普通顯微鏡對比度更高的圖像
激光共聚焦顯微鏡OLS5100 X-Y掃描儀
OLS5100顯微鏡配有奧林巴斯光學掃描儀。通過將采用電磁感應(yīng)MEMS諧振掃描儀的X軸與采用Galvano掃描振鏡的Y軸相結(jié)合,能夠讓X-Y掃描儀定位于相對物鏡瞳鏡共軛的位置,因而能夠?qū)崿F(xiàn)具有較低掃描軌跡失真和較小光學像差的X-Y掃描。
激光共聚焦顯微鏡OLS5100高度測量原理
在測量高度時,顯微鏡通過自動移動焦點位置獲取多個共焦圖像。
根據(jù)非連續(xù)的焦點位置(Z)和檢測光強度(I)可以估算每個像素的光強變化曲線(I-Z曲線),并獲得其峰值位置和峰值強度。由于所有像素的峰值位置與樣品表面的不規(guī)則性相對應(yīng),因此可以獲得樣品表面的3D形狀信息。與此類似,通過峰值強度數(shù)據(jù)可以獲得針對樣品表面所有位置焦點的圖像(擴展圖像)。