日本HONDA本多進口石英超聲波清洗機晶圓
W-357-1MQG-SKC
過根據(jù)目的準(zhǔn)備石英振動體的形狀,可以滿足低損傷清洗、大面積清洗、斜面部分(端面)和缺口(晶片端面切口)清洗等需求。 ). 它可以實現(xiàn)有效的清潔。
特點功能:
晶片的小型化、損傷低
的清洗
■ 通過在石英振動體上疊加超聲波來清洗
半導(dǎo)體晶片 通過化學(xué)溶液從石英振動體向半導(dǎo)體晶片傳播超聲波振動,接觸部分的化學(xué)溶液振動并它的加速會清除表面的污垢。
■ 實現(xiàn)對半導(dǎo)體晶片的損傷少的清潔清洗 與
化學(xué)品接觸的部分使用石英,與使用橡膠材料的設(shè)備(如填料)相比,沒有橡膠溶出或磨損,可以進行清潔清洗。
■ 由于具有振蕩器冷卻功能,通過氣體(氮氣等)冷卻振蕩器,可以穩(wěn)定地連續(xù)運行而不會發(fā)生頻率波動。
此外,通過冷卻,溫度不會突然變化,使用壽命長。
用途:
去除抗蝕劑殘留物
磨邊和灰化后去除聚合物
柵電極清洗
CMP 后清洗
日本HONDA本多進口石英超聲波清洗機晶圓 規(guī)格參數(shù):
模型 | W-357-1MQG-SKC |
振蕩模式 | 單頻振蕩 |
額定輸出 | 12W |
標(biāo)稱振蕩頻率 | 1MHz |
輸入功率 | AC100V-240V 單相 50 / 60Hz 300VA |
外形尺寸 WxDxHmm | 180 x 250 x 100 (不包括突出部分,包括橡膠腳) |
質(zhì)量 | 2.2公斤 |
產(chǎn)品圖片