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易度智能SC100-WR寬量程氣體質(zhì)量流量控制器在SC100標(biāo)準(zhǔn)型層流質(zhì)量流量控制器的基礎(chǔ)上提高2倍的可精確測(cè)量范圍，實(shí)現(xiàn)在10%~100%的量程范圍內(nèi)達(dá)到1%設(shè)定值精度，并通過產(chǎn)品內(nèi)置的壓力、溫度傳感器的精確補(bǔ)償核心算法，在低零點(diǎn)、溫度、壓力漂移量上表現(xiàn)出了杰出性能。同時(shí)，內(nèi)置多種氣體和混氣設(shè)置，觸屏式操作的自由切換，有效簡(jiǎn)化了系統(tǒng)的復(fù)雜度，減少客戶采購(gòu)成本，提高系統(tǒng)的穩(wěn)定度。

特征：

l 原理：層流壓差式原理

l 便捷操作：可觸屏點(diǎn)擊輸入設(shè)定流量，或者提供上位機(jī)軟件設(shè)定流量。

l 核心優(yōu)勢(shì)：高精度、高重復(fù)性、快速響應(yīng)

l 寬溫度、寬壓力適用范圍：-20℃~60℃、1Mpa以內(nèi)

l 實(shí)時(shí)顯示4種過程變量

l 內(nèi)置49種氣體，，一鍵自由切換氣體，無(wú)需查找、輸入系數(shù)，并可自主編輯混合氣體

l 無(wú)需預(yù)熱時(shí)間，開機(jī)即可使用，即插即用。

l 可切換為流量計(jì)模式使用

產(chǎn)品規(guī)格：

l 產(chǎn)品型號(hào)：SC100-WR

l 量程范圍：0.5sccm~5000slpm

l 閥門種類：N/C（常閉型）

性能參數(shù)：

l 精度：SC100-WR：±1.0%S.P.(設(shè)定值)(10%～100%量程范圍)   ±0.1%F.S.(滿量程)(1%～10%量程范圍)

l 重復(fù)精度：±0.2%F.S.

l 壓力漂移：Zero：≤±0.2%F.S./100Kpa；    Span：≤±0.2%F.S./100Kpa（基準(zhǔn)100KPa(絕壓))

l 溫度漂移：Zero：≤±0.02%F.S./℃；             Span：≤±0.02%F.S./℃（基準(zhǔn)溫度20℃）

l 零點(diǎn)漂移：±0.2%F.S./年

l 工作范圍：1%~100%F.S.

l 響應(yīng)時(shí)間：≤700ms.

l 啟動(dòng)預(yù)熱時(shí)間：1s

使用條件：

l 介質(zhì)溫度：-20℃~60℃

l 環(huán)境溫度：-20℃~50℃

l 使用濕度：0%~98%（無(wú)冷凝）

l 工作壓力：0~1Mpa

l 耐壓：1.5Mpa

l 工作壓差范圍：100kPa~800kPa

l 供電電壓：24V±20%

l 消耗電流：＜500mA （＜12V）

l 安裝方式：任意角度

l 接氣部材質(zhì)：SUS304，SUS316L

l 進(jìn)出口：管螺紋（內(nèi)螺紋）

l 接氣部密封材質(zhì)：橡膠圈密封：氟橡膠

通訊方式：

l 數(shù)字信號(hào)：RS485，Profibus

l 模擬信號(hào)：4-20mA，0-5V

應(yīng)用場(chǎng)景

l 標(biāo)定臺(tái)系統(tǒng)搭建中的流量控制設(shè)備

l 需要大范圍調(diào)整流量的流控系統(tǒng)或設(shè)備集成

l 簡(jiǎn)化集成設(shè)備或?qū)υO(shè)備體積敏感的場(chǎng)景

l 需要調(diào)控比較大流量的實(shí)驗(yàn)研究場(chǎng)合

SC100-WR寬量程氣體質(zhì)量流量控制器在于精度保證范圍更寬，適用于要求測(cè)控范圍更寬，對(duì)配套設(shè)備體積敏感的場(chǎng)景。