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          目錄:沈陽科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司>>混氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)>>混氣系統(tǒng)>> GSL-2Z混氣系統(tǒng)2路質(zhì)子GSL-2Z

          混氣系統(tǒng)2路質(zhì)子GSL-2Z
          • 混氣系統(tǒng)2路質(zhì)子GSL-2Z
          參考價(jià) 面議
          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          參考價(jià) 面議
          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          • 品牌
          • 型號(hào) GSL-2Z
          • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
          • 所在地 沈陽市
          屬性

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          更新時(shí)間:2016-04-15 15:57:35瀏覽次數(shù):2302評(píng)價(jià)

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          混氣系統(tǒng)2路質(zhì)子GSL-2Z是用于控制一種或兩種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐,這種氣體控制系統(tǒng)安裝在移動(dòng)架內(nèi),管式爐可以放在移動(dòng)架上面,氣體控制系統(tǒng)的前面板上有控制并顯示氣體流量的調(diào)節(jié)閥,可以用于CVD系統(tǒng)及退火爐,用來研究氣體環(huán)境對(duì)材料的影響,在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用,廣泛應(yīng)用于電子工藝設(shè)備,如擴(kuò)散、氧化、外。

           

          產(chǎn)品型號(hào)

            混氣系統(tǒng)2路質(zhì)子GSL-2Z

          主要特點(diǎn)

            精度高,運(yùn)行穩(wěn)定可靠,工作壓力范圍寬,可在高壓或真空條件下工作,且操作使用方便。

          技術(shù)參數(shù)

            1、電源:185-245V  50Hz

            2、zui大輸出功率:18W

            3、制范圍:控制器1——1-199SCCM、控制器2——1-499SCCM

            4、zui大壓力:3×106  Pa

            5、準(zhǔn)確度:±1%FS

            6、線性:±0.5-1.5%

            7、重復(fù)精度:±0.2%FS

            8、響應(yīng)時(shí)間:氣特性1-4s,電特性10s針閥:316不銹鋼

            9、工作壓差范圍:0.1-0.5 MPa

            10、壓力表測(cè)量范圍:-0.1-0.15MPa0.01 MPa/grid

            11、混氣罐:Φ80mm×120mm

            12截止閥:Φ1/4″,316不銹鋼針閥

            13、工作溫度:5-45

          產(chǎn)品規(guī)格

            尺寸:600mm×600mm×650mm

           

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