目錄:沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司>>混氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)>>混氣系統(tǒng)>> 精密液體氣相發(fā)生器
產(chǎn)品型號 | 精密液體氣相發(fā)生器 |
主要特點 | 1、流體和氣體在一個316不銹鋼罐中加熱。 2、采用30段程序化控溫。 3、氣體流速通過浮子流量計控制。 4、配有壓力表，可測出液氣混合罐中的氣體壓強。 5、配有兩個不銹鋼針閥，以控制氣體進出。 6、可與本司所有管式爐和CVD系統(tǒng)相連接。 7、已通過CE認(rèn)證。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、電源：單相AC208V-240V 50Hz/60Hz 2、功率：1000W 3、蠕動泵：精確度±0.02%FS，流量0-80ml/min（可調(diào)） 4、zui高工作溫度：300℃ 5、控溫精度：±1℃ 6、浮子流量計：0-2000ml/min（可調(diào)） 7、出氣口：外徑1/4″ |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：350mm×335mm×300mm；重量：5kg |
| 可選配件 | 加熱帶（纏繞在外接的管道上，以保證液體蒸汽在傳輸過程中不會液化。）
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