德國Diener Bell Jar 35 研究型等離子清洗機

基本設備:

。外殼約寬560MMx高1640MMx深620mm

。腔室容積：約35升

。供電電源：230V/16A



氣源:

。3個質量流量控制器（MFCs）



控制系統:

。PCCE控制系統（Microsoft Windows XPe）





發(fā)生器:

。頻率：40KHz, 功率 0-500W

13.56MHz, 功率 0-300W

。直流偏置電源或單極性脈沖，功率300W，電壓600V，直流電

。發(fā)生器為 0-99% 無級可調型

真空腔室:

。硼硅玻璃材質的玻璃罩，直徑315MMx高500MM



真空泵:

。規(guī)格和制造商均各有不同（按照活性炭過濾器的需要）



濺射源:

。1個濺射源2"-3"+擋板（可為反應過程選配排煙管和進氣口）



基材支架:

。直徑140MM（可選擇旋轉型，基材加熱器，基材冷卻裝置）

?？汕袚Q為等離子預處現的電極（清洗，活化，蝕刻）





壓力測量:

。Pirani



其它選項:

備件套件，壓力計，腐蝕性氣體設計結構，氣瓶，減壓器，加熱板，溫度顯示器，加熱型腔室，Faraday Box, 等離子體聚合配件，試墨水，氧氣發(fā)生器，慢速通風裝置，慢速抽吸裝置，TEM樣品架法蘭，維護/服務，當地語言的文件，現場安裝，包括培訓，可應需求提供的其它選項。