目錄:北京精量科技有限公司>>氣體 質(zhì)量流量計(jì)/控制器>>真空及負(fù)壓流量測量及控制>> 負(fù)壓或真空腔室用的氣體質(zhì)量流量計(jì)及MFC
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更新時(shí)間:2024-10-31 10:52:45瀏覽次數(shù):706評(píng)價(jià)
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,電子,制藥,電氣,綜合 | 流量范圍 | 0~300SLM |
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一、負(fù)壓或真空腔室用的氣體質(zhì)量流量計(jì)及MFC 產(chǎn)品概述:
1、精度更高,響應(yīng)更快,帶網(wǎng)口;
2、管狀分流,不易堵塞;
3、適用于各種低壓和高壓管道以及抽真空的環(huán)境;
4、預(yù)熱時(shí)間短,零漂小,可靠性高;
5、模擬量輸入/輸出可使用二次表或流量計(jì)算機(jī)控制和顯示流量;
6、數(shù)字通訊RS485/232 Modbus、Profibus、Devicenet等協(xié)議可選;
二、產(chǎn)品應(yīng)用:
真空鍍膜 / 太陽能、氫能等新能源 / 半導(dǎo)體 / 石油石化精細(xì)化工 / 電力冶金
環(huán)保 / 食品包裝 / 生物醫(yī)藥 / 新材料 / 工業(yè)制作 / 各種分析儀器 / 制氣配氣系統(tǒng)
三、負(fù)壓或真空腔室用的氣體質(zhì)量流量計(jì)及MFC 產(chǎn)品參數(shù):
滿量程范圍:2SCCM~300SLM
準(zhǔn) 確 度:±0.5%F.S
線 性:±0.5%F.S
重復(fù)精度:±0.2%F.S
響應(yīng)時(shí)間:流量計(jì):<0.1s; 流量控制器:<0.2s
數(shù) 字 量:RS232/485,MODBUS協(xié)議
模 擬 量:0~5V、4-20mA、1~5V
供 電:±15VDC,24VDC
工作溫度:0~50℃
工作壓降:<0.01Mpa(流量計(jì))
工作壓差:0.1~0.5Mpa (流量控制器)
耐 壓:3MPa/10MPa
漏 率:1×10-9SCCSHe
溫度系數(shù):±0.025%F.S/℃
底座材質(zhì):不銹鋼
密封材質(zhì):氟橡膠,氯丁橡膠,丁腈橡膠,聚四氟乙烯,全氟醚FFKM/FFPM等
接 頭:φ3,φ6,1/8",1/4",3/8",1/2"… …卡套、法蘭、快插、寶塔等。。。
如果所需性能要求與上述性能不同,可以溝通定制。
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)