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ULVAC愛發(fā)科 油旋片型真空泵高性能?低噪音?低振動的直聯(lián)型油旋片真空泵。采用強(qiáng)制給油方式,實(shí)現(xiàn)大氣壓至真空領(lǐng)域的穩(wěn)定排氣。防回流結(jié)構(gòu),受到停電等影響停機(jī)時(shí),...
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ULVAC愛發(fā)科 羅茨型干泵真空泵高溫均勻分布:在CVD、蝕刻等工藝下使反應(yīng)性氣體(升華性氣體)可以以氣體形態(tài)排氣。可以減少氣體固化量。強(qiáng)耐腐蝕性:主要零件采用...
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