日本NAGANOSEIKI長野化學兼容壓力變送器KL92-276
?接液部件由全氟聚合物(PFA、PTFE)制成,具有減少污染發(fā)生的結(jié)構(gòu)。
日本NAGANOSEIKI長野化學兼容壓力變送器KL92-276
KL92型
化學相容性壓力變送器
用于與化學品兼容的O型無圈結(jié)構(gòu)半導體制造設備
本儀器為含氟聚合物膜片密封壓力變送器。 采用O型無圈結(jié)構(gòu),減少了污染和
金屬洗脫的發(fā)生,適用于半導體制造設備領域的壓力監(jiān)測應用。
長處
?接液部件由全氟聚合物(PFA、PTFE)制成,具有減少污染發(fā)生的結(jié)構(gòu)。
?提高對氫氟酸等腐蝕性化學品的抵抗力。
?外殼防護結(jié)構(gòu)為IP54,體積小,樹脂本體滿足濕工站應用需求。
日本NAGANOSEIKI長野化學兼容壓力變送器KL92-276
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