產(chǎn)地類別	進口	應(yīng)用領(lǐng)域	能源,電子,汽車,電氣,綜合

TORAY東麗氧氣分析儀半導(dǎo)體用LC-450A
TORAY東麗氧氣分析儀半導(dǎo)體用LC-450A
氧氣分析儀
用于半導(dǎo)體、電子元件的氧分析儀

MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860

型號： MS-500

TORAY東麗氧氣分析儀半導(dǎo)體用

能夠同時測量多達 8 個點
顯示從 ppm 級到 100% 的廣泛濃度范圍
安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備、真空設(shè)備等中。
直插式傳感器（NW 16/25/40 真空法蘭）
傳感器采用特殊涂層，耐用性更強

MS-500 規(guī)格

測量原理			氧化鋯濃縮池類型
類型			分離型（轉(zhuǎn)換器：壁掛式;傳感器：直接插入式）
顯示系統(tǒng)			4 位數(shù)字顯示（濃度顯示）
測量范圍			0-1 / 10 / 100 / 1000 ppm / 1 / 10 / 100vol%O210-20~10-0ATM 自動系列
重復(fù)性			滿量程的 ±0.5% 以內(nèi);范圍 0-1% 或更高在滿量程的 ±1% 或 ±0.1 ppm 以內(nèi)，以較大者為準;范圍小于 0-1 % 濃度在 0-1 ppm 之間，大氣壓范圍不在保修期內(nèi)。
測量點數(shù)量			1~8
樣氣要求	壓力		10-3至 200KPa（絕對壓力）
	流量		0.5 至 5,000 mL/min 或 0 mL/min（在自然分散狀態(tài)下測量）
	濕度		露點低于環(huán)境溫度
	溫度		0 至 100°C
	別人		不得含有腐蝕性氣體（氟氣、氯氣、硫化氣等）、含有有機硅的氣體、易燃物質(zhì)（包括氣體）、油或濕氣
參比氣體			大氣層
記錄器輸出			僅傳輸輸出
傳輸輸出			RS-232C 系列
警報輸出			沒有
預(yù)熱時間			6 分鐘或更短
尺寸	MS-500（控制器）		92 mm （W） ×44 mm （H）×120 mm （D）（不包括突出部分）
	MS-510（轉(zhuǎn)換器）		100 mm （W） × 40 mm （H）×88 mm （D）（不包括突出部分）
	傳感器單元	SD16NW型	全長 100mm（傳感器 ? 11×39，機身 ? 40×51）
		SD25NW型	全長 100mm（傳感器 ? 11×42，機身 ? 40×48）
		SD40NW 系列	全長 100mm（傳感器 ? 11×41，機身 ? 40×49）
重量	MS-500（控制器）		約 0.6 kg
	MS-510（轉(zhuǎn)換器）		約 0.5 kg
	傳感器單元	SD16NW型	約 0.2 kg
		SD25NW型	約 0.2 kg
		SD40NW 系列	約 0.35 kg
外部連接			任何真空法蘭（NW16、25 或 40）
權(quán)力			24VDC±10%

型號： LC-450A/LC-450D

TORAY東麗氧氣分析儀半導(dǎo)體用

測量范圍廣
能夠顯示從 ppm 級到 100% 的廣泛濃度范圍
提高傳感器耐用性
氧傳感器上使用特殊涂層，更耐用
寬交流電源范圍 AC100~240VAC（LC-450A）
* LC-450D 使用 DC 24 V 電源
緊湊且易于安裝
比傳統(tǒng)設(shè)備深度短。節(jié)省空間。
符合 RoHS 規(guī)范
CE 標志符合性
聲明 EN61010-1：2002，EN61326：+A3：2003

LC-450A 規(guī)格

測量原理			氧化鋯濃縮池類型
類型			桌面型/面板安裝型
顯示系統(tǒng)			4 位數(shù)字顯示（濃度顯示）
測量范圍			0-1 / 10 / 100 / 1000 ppm / 1 / 10 / 100vol%O210-20~10-0ATM 自動系列
重復(fù)性			滿量程的 ±1% 和 0-1 ppm 范圍內(nèi)的濃度（大氣壓）不在保修期內(nèi)。
采樣方法			使用內(nèi)置泵進行連續(xù)抽吸
樣氣要求	壓力		加壓 30 KPa 或更低
	流量		1,000~2,000 毫升/分鐘
	濕度		露點低于環(huán)境溫度
	溫度		0 至 50°C
	別人		不得含有腐蝕性氣體（氟氣、氯氣、硫化氣等）、含有有機硅的氣體、易燃物質(zhì)（包括氣體）、油或濕氣
參比氣體			大氣層
記錄器輸出	氧氣濃度輸出		在 4-20 mA 或 0-20 mA 之間切換（0-10 V 可選）;絕緣;負載阻力為 550 Ω 或更低記錄儀輸出范圍以滿量程表示，氧濃度以線性輸出表示
記錄器輸出	輸出范圍		0-100%， 0-1000ppm， 0-100ppm， 0-10ppm 自動/固定范圍
傳輸輸出			RS-232C 系列
警報輸出	FAIL （設(shè)備錯誤）	1 積分	無電壓觸點;觸點容量：30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下發(fā)生設(shè)備故障時觸點閉合（觸點操作可調(diào)）
	ALM（濃度警報）	2 積分（H/L）	無電壓觸點;觸點容量：30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下發(fā)生警報時觸點閉合（觸點操作可調(diào)）
	RDY （預(yù)熱信號）	1 積分	無電壓觸點;觸點容量：30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下非電壓觸點的最小開/關(guān)容量為 12 V 或更高;不響應(yīng)極小的負載
	MRK（范圍標記）輸出	2 積分	無電壓觸點;觸點容量：30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下
預(yù)熱時間			5 分鐘或更短
尺寸	身體		210 mm （W） ×134 mm （H）×300 mm （D）（不包括突出部分）
重量			約 6 kg
氣體連接	入口		RC1/4
	旁通輸出		RC1/4
	出口		RC1/4
權(quán)力			100 至 240 V AC，50 V A（正常條件：35 V A）50 Hz/60 Hz

LC-450D 規(guī)格

測量原理			氧化鋯濃縮池類型
類型			桌面型/面板安裝型
顯示系統(tǒng)			4 位數(shù)字顯示（濃度顯示）
測量范圍			0-1 / 10 / 100 / 1000 ppm / 1 / 10 / 100vol%O210-20~10-0ATM 自動系列
重復(fù)性			滿量程的 ±1% 和 0-1 ppm 范圍內(nèi)的濃度（大氣壓）不在保修期內(nèi)。
采樣方法			使用內(nèi)置泵進行連續(xù)抽吸
樣氣要求	壓力		加壓 30 KPa 或更低
	流量		1,000~2,000 毫升/分鐘
	濕度		露點低于環(huán)境溫度
	溫度		0 至 50°C
	別人		不得含有腐蝕性氣體（氟氣、氯氣、硫化氣等）、含有有機硅的氣體、易燃物質(zhì)（包括氣體）、油或濕氣
參比氣體			大氣層
記錄器輸出	氧氣濃度輸出		0-10 V 直流;絕緣;負載電阻 600 kΩ 或更高（選項：4-20 mA DC;絕緣;負載電阻 550 Ω 或更低）記錄儀輸出范圍以滿量程和氧氣濃度為線性輸出
記錄器輸出	輸出范圍		0-100%， 0-1000ppm， 0-100ppm， 0-10ppm 自動/固定范圍
傳輸輸出			RS-232C 系列
警報輸出	FAIL （設(shè)備錯誤）	1 積分	無電壓觸點;觸點容量：30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下發(fā)生設(shè)備故障時觸點閉合（觸點操作可調(diào)）
	ALM（濃度警報）	2 分（L/LL）	無電壓觸點;觸點容量：30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下發(fā)生警報時觸點閉合（觸點操作可調(diào)）
	RDY （預(yù)熱信號）	1 積分	無電壓觸點;觸點容量：30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下預(yù)熱時觸點閉合（觸點操作可調(diào)）非電壓觸點的最小開/關(guān)容量為 12 V 或 20 mA 或更高;不響應(yīng)極小的負載
	MRK（范圍標記）輸出	2 積分	無電壓觸點;觸點容量：30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下
預(yù)熱時間			5 分鐘或更短
尺寸	身體		240 mm （W） ×134 mm （H）×210 mm （D）（不包括突出部分）
重量			約 5 kg
氣體連接	入口		RC1/8
	旁通輸出		RC1/8
	出口		RC1/8
權(quán)力			24 V DC±10%，1.25 A（正常情況下為 30 V）

型號： LC-860

TORAY東麗氧氣分析儀半導(dǎo)體用

低濃度測量
測量范圍從 ppb 級到 100%
易于操作
通過單獨的按鍵輕松操作。
吹掃功能
通過穩(wěn)定參比氣體，可以進行更寶貴的測量。（僅適用于具有吹掃功能的型號）
高可靠性傳感器
可提供防止傳感器退化的處理（可選）。

LC-860 規(guī)格

測量原理			氧化鋯濃縮池類型
類型			桌面型/面板安裝型
顯示系統(tǒng)			6 位數(shù)字顯示（濃度顯示）
測量范圍			0-1 / 10 / 100 / 1000 ppm / 1 / 10 / 100vol%O210-20~10-0atm 自動/固定范圍
重復(fù)性			在滿量程的 ±1% 以內(nèi)氧氣濃度低于 1 ppm 和濃度在 0-1 ppm 范圍內(nèi)，大氣壓范圍不在保修期內(nèi)。
采樣方法			使用內(nèi)置泵進行連續(xù)抽吸
樣氣要求	壓力		加壓 30 KPa 或更低
	流量		~1,500 毫升/分鐘
	濕度		露點低于環(huán)境溫度
	溫度		0 至 50°C
	別人		不得含有腐蝕性氣體（氟氣、氯氣、硫化氣等）、含有有機硅的氣體、易燃物質(zhì)（包括氣體）、油或濕氣
參比氣體			大氣層
記錄器輸出	氧氣濃度輸出		4-20 mA/0-10 V 4-20 mA：絕緣;負載電阻 600 Ω 以下 0-10 V：絕緣;負載阻力為 500 Ω 或更高記錄儀輸出范圍以滿量程表示，氧濃度以線性輸出表示
記錄器輸出	輸出范圍		0-100%、0-10%、0-1%、0-1000 ppm、0-100 ppm、0-100 ppm、0-10 ppm、10-20-10-0或具有任意 4 個量程的自動/固定量程
傳輸輸出			RS-232C 系列
警報輸出	FAIL （設(shè)備錯誤）	1 積分	無電壓觸點;觸點容量：24 V DC/AC 以下、0.1 A 以下發(fā)生設(shè)備故障時觸點閉合（觸點操作可調(diào)）
	ALM（濃度警報）	2 積分	無電壓觸點;觸點容量：24 V DC/AC 以下、0.1 A 以下發(fā)生警報時觸點閉合（觸點操作可調(diào)）
	RDY （預(yù)熱信號）	1 積分	無電壓觸點;觸點容量：24 V DC/AC 或更低，0.5 A 或更低觸點在預(yù)熱期間閉合（觸點操作可調(diào)）非電壓觸點的最小開/關(guān)容量為 12 V 或更高;不響應(yīng)極小的負載
	MRK（范圍標記）輸出	3 積分	無電壓觸點;觸點容量：24 V DC/AC 以下、0.1 A 以下
預(yù)熱時間			20 分鐘或更短
尺寸	身體		288 mm（寬）×144 mm（高）×400 mm（深）（不包括突出部分）
重量			約 10 kg
氣體連接	入口		RC1/8
	旁通輸出		RC1/8
	出口		RC1/4
權(quán)力			100 至 120 V AC±10% 200 V A 50 Hz/60 Hz

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