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SE-VE 光譜橢偏儀
產(chǎn)品簡介： SE-VE 是一款、快速測量光譜橢偏儀，緊湊集成設計，使用簡便，可一鍵快速測量 表征各式光學薄膜膜厚以及光學常數(shù)等信息。高性價比光學橢偏測量解決方案，緊湊集成化設計，用 戶操作體驗，一鍵快速測量分析，人機交互設計，使用便捷，豐富的數(shù)據(jù)庫和幾何結構模型庫，保證強大 數(shù)據(jù)分析能力，廣泛應用于科研/企業(yè)中各種單層到多層薄膜膜厚以及光學常數(shù)等快速表征分析。
產(chǎn)品型號 | SE-VE 光譜橢偏儀 |
主要特點 | 1、采用高性能進口復合光源，光譜覆蓋可見到近紅外范圍 2、高精度旋轉補償器調制、 PCRSA 配置， 實現(xiàn)Psi/Delta光譜數(shù)據(jù)高速采集 |
3、數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫、多種算法模型庫，涵蓋了目前絕大部分的光電材料 | |
技術參數(shù) | 1、自動化程度：固定角 2、應用定位：經(jīng)濟型 3、基本功能： Psi/Delta、N/C/S、R 等光譜 |
4、分析光譜： 400-800nm | |
5、單次測量時間： 0.5-5s | |
6、重復性測量精度： 0.05nm 7、光斑大?。?/span> 大光斑 1-3mm 8、入射角調節(jié)方式：固定角 |
9、入射角范圍： 65° | ||
10、找焦方式：手動找焦 11、Mapping 行程：不支持 12、支持樣件尺寸： 至 160mm | ||
可選配件 | 1 | 溫控臺 |
2 | 真空泵 | |
3 | 透射吸附組件 | |
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