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FAAS 8000 ICS 在線陰陽(yáng)離子監(jiān)測(cè)系統(tǒng)采用撞擊式氣體吸收技術(shù)結(jié)合離子色譜分析方法，實(shí)現(xiàn)了多點(diǎn)采樣、氣體自動(dòng)吸收富集、在線質(zhì)量控制等全自動(dòng)在線監(jiān)測(cè)功能，解決了潔凈室AMC監(jiān)測(cè)過(guò)程中人員投入大、數(shù)據(jù)監(jiān)測(cè)頻率低、數(shù)據(jù)反饋不及時(shí)等問(wèn)題；可應(yīng)用于半導(dǎo)體廠區(qū)氣態(tài)分子污染物（AMC）中酸性物質(zhì)（MA）、堿性物質(zhì)(MB)污染物的在線監(jiān)測(cè)。

FAAS 8000 ICS 在線陰陽(yáng)離子監(jiān)測(cè)系統(tǒng)性能優(yōu)勢(shì)

數(shù)據(jù)可靠

系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)遠(yuǎn)距離采樣、自動(dòng)富集吸收、自動(dòng)質(zhì)量控制、自動(dòng)分析、數(shù)據(jù)自動(dòng)上傳全流程自動(dòng)化。

避免人工誤差引入，數(shù)據(jù)準(zhǔn)確可靠。

靈敏度高

大體積進(jìn)樣濃縮，大幅提高系統(tǒng)檢測(cè)能力，檢出限可達(dá)亞ppt級(jí)，縮短系統(tǒng)運(yùn)行周期。

FAAS 8000ICS 測(cè)試部分陰陽(yáng)離子的檢出限

監(jiān)測(cè)面廣

單套系統(tǒng)最多可配置32個(gè)點(diǎn)位的樣品采集；

系統(tǒng)通過(guò)真空泵遠(yuǎn)距離采樣，可覆蓋300m范圍內(nèi)樣品的在線監(jiān)測(cè)。

設(shè)計(jì)合規(guī)

系統(tǒng)管路及閥組采用潔凈的聚四氟乙烯材料設(shè)計(jì)，滿足SEMI F57中相關(guān)析出雜質(zhì)的控制要求。

吸收高效

在線雙吸收模塊設(shè)計(jì)，有利于節(jié)約樣品分析時(shí)間，數(shù)據(jù)輸出更快更高效！

應(yīng)用領(lǐng)域

FAAS 8000ICS 在線陰陽(yáng)離子監(jiān)測(cè)系統(tǒng)主要應(yīng)用于潔凈室環(huán)境空氣中水溶性酸堿性污染物的在線監(jiān)測(cè)，可擴(kuò)展至大氣中離子污染物的檢測(cè)。