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X射線熒光光譜儀(XRF)是一種較新型的可以對(duì)多元素進(jìn)行快速同時(shí)測(cè)定的儀器。在X射線激發(fā)下，被測(cè)元素原子的內(nèi)層電子發(fā)生能級(jí)躍遷而發(fā)出次級(jí)X射線(即X熒光)。波長(zhǎng)和能量是從不同的角度來(lái)觀察描述X射線所采用的兩個(gè)物理量。
能量色散和波長(zhǎng)色散X熒光光譜儀兩者之間的比較：
能量色散和波長(zhǎng)色散X熒光光譜儀兩者之間的比較：
1、測(cè)量精度：波長(zhǎng)色散類X熒光光譜儀有其固有的高分辨率和高精度，能提供*的穩(wěn)定性和優(yōu)良的分析精度，但對(duì)樣品的形狀和制備方法有所要求；能量色散X熒光光譜儀如果經(jīng)過(guò)精心的設(shè)計(jì)和方法優(yōu)化，也可提供行業(yè)接受的測(cè)量結(jié)果，它的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是可以在不對(duì)樣品進(jìn)行處理的情況下給出可供參考的數(shù)據(jù)。目前波長(zhǎng)色散類儀器也已經(jīng)國(guó)產(chǎn)化，同類儀器相比較，進(jìn)口儀器在精度上并不占優(yōu)勢(shì)，但價(jià)格卻昂貴很多。
2、測(cè)量時(shí)間：由于波長(zhǎng)色散配備較大功率的X光管，熒光強(qiáng)度高；因此，波長(zhǎng)色散X熒光光譜儀占用較短的測(cè)量時(shí)間，便能達(dá)到較高的測(cè)量精度。
3、被測(cè)量樣品的要求：由于技術(shù)特點(diǎn)的差異，波長(zhǎng)色散X熒光光譜儀需要對(duì)被測(cè)量樣品進(jìn)行簡(jiǎn)單的處理；對(duì)固體樣品的一般處理方法是將被測(cè)量樣品表面打磨光滑，對(duì)粉末和其他樣品可以采用磨細(xì)后進(jìn)行粉末壓片法處理，相應(yīng)的設(shè)備市場(chǎng)上很容易找到。能量色散型X熒光光譜儀最大的優(yōu)勢(shì)在于：可以對(duì)樣品不作特別復(fù)雜的處理而直接進(jìn)行測(cè)量，對(duì)樣品也沒(méi)有任何損壞，適合直接用于生產(chǎn)的過(guò)程控制中；但需要強(qiáng)調(diào)指出的是：從熒光理論上講，被測(cè)量樣品的預(yù)先處理是必須的，對(duì)于能量色散儀器來(lái)說(shuō)，我們可以采取一些技術(shù)手段進(jìn)行校正來(lái)滿足實(shí)際生產(chǎn)控制的需要，但即使采用了技術(shù)校正的手段，對(duì)不規(guī)則樣品的直接測(cè)量也是以犧牲測(cè)量準(zhǔn)確度作為代價(jià)的。
4、最佳應(yīng)用范圍：由于波長(zhǎng)色散和能量色散類型X熒光光譜儀各自的技術(shù)特點(diǎn)，兩種類型儀器所側(cè)重的應(yīng)用方案也不盡相同；波長(zhǎng)色散X熒光光譜儀具有較高的測(cè)量精度，但同時(shí)需要對(duì)被測(cè)量樣品進(jìn)行簡(jiǎn)單處理，更適用于進(jìn)廠原材料、半成品、成品的精確檢測(cè)和質(zhì)量控制；能量色散X熒光光譜儀雖然測(cè)量精度稍差，但具有快速、直接測(cè)量各種形狀樣品的優(yōu)點(diǎn)，因此可直接在生產(chǎn)線上用于各種部件、電子元器件的檢測(cè)。
5、能量分辨率：能量分辨率是X熒光光譜儀儀器的主要指標(biāo)，分辨率數(shù)值越小，分辨率越高，儀器性能越好。
6、熒光強(qiáng)度：對(duì)于X熒光光譜儀來(lái)說(shuō)，各元素含量與該元素的熒光強(qiáng)度成正比關(guān)系；熒光強(qiáng)度越高，則統(tǒng)計(jì)誤差越小，測(cè)量的準(zhǔn)確度越高，儀器性能越好。
7、使用壽命：波長(zhǎng)色散類型X熒光光譜儀的使用壽命一般為10年以上；能量色散X熒光光譜儀的使用壽命主要取決于X光管和探測(cè)器使用壽命，而使用壽命隨工作條件的不同有一定的隨機(jī)性。
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