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發(fā)生器 單品型
型號(hào)
VSH?VSU?VSB?VSC
備有不同性能和形狀的豐富類型，適用于多種條件。
【噴嘴直徑】0.5, 0.7, 1.0, 1.2, 1.5, 2.0 (㎜)
【吸入流量】7～180 (L/min(ANR))
行業(yè)
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2D CAD
3D CAD
CKD plus 僅限會(huì)員
發(fā)生器系統(tǒng)
發(fā)生器單元（20mm寬）
型號(hào)
VSG
集成了所有功能的標(biāo)準(zhǔn)型。
【噴嘴直徑】0.5, 0.7, 1.0, 1.2 (㎜)
【吸入流量】7～50 (L/min(ANR))
行業(yè)
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CKD plus 僅限會(huì)員
發(fā)生器系統(tǒng)
發(fā)生器單元（16mm寬）
型號(hào)
VSK?VSKM
實(shí)現(xiàn)了多種單元的模塊化，可根據(jù)用途進(jìn)行選型的發(fā)生器單元。
【噴嘴直徑】0.5, 0.7, 1.0, 1.2 (㎜)
【吸入流量】7～50 (L/min(ANR))
行業(yè)
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2D CAD
3D CAD
CKD plus 僅限會(huì)員
發(fā)生器系統(tǒng)
發(fā)生器單元（20mm寬）
型號(hào)
VSJ?VSJM
帶破壞空氣流量＆溢流壓力調(diào)整針閥的真空發(fā)生器單元。
【噴嘴直徑(㎜)】0.5, 0.7, 1.0, 1.2
【吸入流量(L/min(ANR))】7～38
行業(yè)
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CKD plus 僅限會(huì)員
發(fā)生器系統(tǒng)
發(fā)生器單元（10.3mm寬）
型號(hào)
VSN?VSNM
實(shí)現(xiàn)高速且穩(wěn)定響應(yīng)性的小型發(fā)生器單元。
小型、輕量，尤其實(shí)現(xiàn)了高度尺寸的緊湊化。
【噴嘴直徑】0.4, 0.5, 0.6 (㎜)
【吸入流量(L/min(ANR))】2～9.5
行業(yè)
半導(dǎo)體制造工序（后工序）
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3D CAD
CKD plus 僅限會(huì)員
發(fā)生器系統(tǒng)
發(fā)生器單元（10.5mm寬）
型號(hào)
VSX?VSXM
10.5mm寬的緊湊本體，多連使用時(shí)也可緊湊安裝的真空發(fā)生器單元。
【噴嘴直徑】0.5, 0.7, 1.0 (㎜)
【吸入流量】3～26 (L/min(ANR))
行業(yè)
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3D CAD
CKD plus 僅限會(huì)員
發(fā)生器系統(tǒng)
發(fā)生器單元（31.5mm寬）
型號(hào)
VSQ
適用于大流量控制的真空發(fā)生器單元。
【噴嘴直徑】0.7, 1.0, 1.2, 1.5, 2.0 (㎜)
【吸入流量】24～180 (L/min(ANR))
行業(yè)
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2D CAD
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CKD plus 僅限會(huì)員
發(fā)生器系統(tǒng)
發(fā)生器單元（11mm寬）
型號(hào)
VSZM
小型、輕量并大幅縮短了真空破壞時(shí)間的真空發(fā)生器單元。
省配線集成型。
【噴嘴直徑】0.5, 0.7, 1.0 (㎜)
【吸入流量】7～24 (L/min(ANR))
行業(yè)
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CKD plus 僅限會(huì)員
發(fā)生器系統(tǒng)
真空發(fā)生器
型號(hào)
VP
2005年11月30日銷售中止
【停產(chǎn)產(chǎn)品】
行業(yè)
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