半導(dǎo)體材料作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上游的重要環(huán)節(jié),在芯片的生產(chǎn)制造過程中起到關(guān)鍵性作用。根據(jù)芯片制造過程劃分,半導(dǎo)體材料主要分為基體材料、制造材料和封裝材料。其中,基體材料主要用來制造硅晶圓或化合物半導(dǎo)體;制造材料主要是將硅晶圓或化合物半導(dǎo)體加工成芯片所需的各類材料;封裝材料則是將制得的芯片封裝切割過程中所用到的材料。
基體材料
根據(jù)芯片材質(zhì)不同,基體材料主要分為硅晶圓和化合物半導(dǎo)體,其中硅晶圓的使用范圍zui廣,是集成電路制造過程中最為重要的原材料。
1、硅晶圓
硅晶圓片全部采用單晶硅片,對(duì)硅料的純度要求較高,因此其制造壁壘較高。一般而言,硅片尺寸越大,硅片切割的邊緣損失就越小,每片晶圓能切割的芯片數(shù)量就越多,半導(dǎo)體生產(chǎn)效率越高,相應(yīng)成本越低。
2、化合物半導(dǎo)體
主要是指砷化鎵(GaAs)、氮化鎵(GaN)、碳化硅(SiC)等第二、三代半導(dǎo)體。在化合物半導(dǎo)體中,砷化鎵(GaAs)具備高功率密度、低能耗、抗高溫、高發(fā)光效率、抗輻射、擊穿電壓高等特性,廣泛應(yīng)用于射頻、功率器件、微電子、光電子及guo 防jun工等領(lǐng)域。氮化鎵(GaN)能夠承載更高的能量密度,且可靠性更高,其在手機(jī)、衛(wèi)星、航天等通信領(lǐng)域,以及光電子、微電子、高溫大功率器件和高頻微波器件等非通信領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用;碳化硅(SiC)具有高禁帶寬度、高飽和電子漂移速度、高熱導(dǎo)率等特性,主要作為高功率半導(dǎo)體材料,通常應(yīng)用于汽車及工業(yè)電力電子等領(lǐng)域,在大功率轉(zhuǎn)換領(lǐng)域應(yīng)用較為廣泛。
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