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1．原子力顯微鏡/AFM的基本原理
/AFM的基本原理是：將一個(gè)對(duì)微弱力極敏感的微懸臂一端固定，另一端有一微小的針尖，針尖與樣品表面輕輕接觸，由于針尖原子與樣品表面原子間存在極微弱的排斥力，通過(guò)在掃描時(shí)控制這種力的恒定，帶有針尖的微懸臂將對(duì)應(yīng)于針尖與樣品表面原子間作用力的等位面而在垂直于樣品的表面方向起伏運(yùn)動(dòng)。利用光學(xué)檢測(cè)法或隧道電流檢測(cè)法，可測(cè)得微懸臂對(duì)應(yīng)于掃描各點(diǎn)的位置變化，從而可以獲得樣品表面形貌的信息。下面，我們以激光檢測(cè)/AFM（Atomic Force Microscope Employing Laser Beam Deflection for ForceDetection, Laser-AFM）——掃描探針顯微鏡家族中zui常用的一種為例，來(lái)詳細(xì)說(shuō)明其工作原理。
原子力顯微鏡原子力顯微鏡
2．原子力顯微鏡/AFM的硬件結(jié)構(gòu)
在/AFM（Atomic ForceMicroscopy，AFM）的系統(tǒng)中，可分成三個(gè)部分：力檢測(cè)部分、位置檢測(cè)部分、反饋系統(tǒng)。
原子力顯微鏡
原子力顯微鏡
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