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ThetaMetrisis是一家私有公司，成立于2008年12月，位于希臘雅典，是NCSR&＃39;Demokritos&＃39;的微電子研究所的一家衍生公司。ThetaMetrisis的核心技術(shù)是白光反射光譜（WLRS），它可以在幾埃到幾毫米的超寬范圍內(nèi)，準確而同時地測量堆疊的薄膜和厚膜的厚度和折射率。

        FR-Mic: 微米級薄膜表征-厚度，反射率，折射率及消光系數(shù)測量儀

一、產(chǎn)品簡介：

     FR-Mic 是一款快速、準確測量薄膜表征應用的模塊化解決方案，要求的光斑尺寸小到幾個微米，如微圖案表面，粗糙表面及許多其他表面。它可以配備一臺計算機控制的 XY 工作臺，使其快速、方便和準確地描繪樣品的厚度和光學特性圖。o 實時光譜測量o 薄膜厚度，光學特性，非均勻性測量，厚度映射o 使用集成的， USB 連接高品質(zhì)彩色攝像機（CCD）進行成像 


 

二、應用領域

o   大學 & 科研院所

o   半導體（氧化物、氮化物、硅、電阻等）

o   MEMS 元器件 (光刻膠、硅薄膜等)

o   LED

o   數(shù)據(jù)存儲元件

o   彎曲基材（襯底）上的硬/軟涂層

o   聚合物涂層、粘合劑等

o   生物醫(yī)學（ parylene—— 派瑞林,氣泡壁厚,等等 )

o   其他更多 …

(如有需求，請與我們?nèi)〉寐?lián)系)

三、產(chǎn)品特點
o 單點分析(無需預設值）
o 動態(tài)快速測量
o 包括光學參數(shù)(n和k，顏色)
o 為演示保存視頻
o 600 多種的預存材料
o 離線分析
o 免費軟件更新 

四、技術(shù)參數(shù)

 FR-Scanner 自動化超高速精準薄膜厚度測量儀

一、產(chǎn)品簡介：

       FR-Scanner 是一種緊湊的臺式工具，適用于自動測繪晶圓片上的涂層厚度。FR-Scanner 可以快速和準確測量薄膜特性:厚度，折射率，均勻性，顏色等。真空吸盤可應用于任何直徑或其他形狀的樣片。

       *的光學模塊可容納所有光學部件:分光計、復合光源(壽命10000小時)、高精度反射探頭。因此，在準確性、重現(xiàn)性和*穩(wěn)定性方面保證了優(yōu)異的性能。FR-Scanner 通過高速旋轉(zhuǎn)平臺和光學探頭直線移動掃描晶圓片(極坐標掃描)。通過這種方法，可以在很短的時間內(nèi)記錄具有高重復性的精確反射率數(shù)據(jù)，這使得FR-Scanner 成為測繪晶圓涂層或其他基片涂層的理想工具。
測量 8” 樣片 625 點數(shù)據(jù)<60 秒

 

二、應用領域

o      彎曲基材（襯底）上的硬/軟涂層

o      聚合物涂層、粘合劑等

o      生物醫(yī)學（ parylene—— 派瑞林,氣泡壁厚,等等 )

o     半導體生產(chǎn)制造：(光刻膠, 電介質(zhì),光子多層結(jié)構(gòu)， poly-Si,Si, DLC )
o      光伏產(chǎn)業(yè)
o      液晶顯示
o      光學薄膜
o      聚合物
o      微機電系統(tǒng)和微光機電系統(tǒng)
o      基底: 透明 (玻璃, 石英, 等等) 和半透明

三、產(chǎn)品特點
o 單點分析(無需預設值）
o 動態(tài)快速測量
o 包括光學參數(shù)(n和k，顏色)
o 為演示保存視頻
o 600 多種的預存材料
o 離線分析
o 免費軟件更新 

四、技術(shù)參數(shù)

FR-Scanner: 自動化超高速薄膜厚度測量儀

FR-pOrtable:一款USB驅(qū)動的薄膜表征工具 

一、產(chǎn)品簡介：

       FR-pOrtable 是 一 款獨 特 的 便 攜 式 測 量 儀器 ， 可 對 透 明 和 半 透明 的 單 層 或 多 層 堆 疊薄 膜 進 行 精 確 的 無 損（非接觸式）表征。使用 FR-pOrtable，用戶可以在 380-1020nm 光譜范圍內(nèi)進行反射率和透射率測量及薄膜厚度測量。

二、應用領域

o   大學 & 科研院所

o   半導體（氧化物、氮化
物、硅、電阻等）

o   MEMS 元器件 (光刻膠、
硅薄膜等)

o   LED

o   數(shù)據(jù)存儲元件

o   彎曲基材（襯底）上的
硬/軟涂層

o   聚合物涂層、粘合劑等

o   生物醫(yī)學
（ parylene—— 派瑞林,
氣泡壁厚,等等 )

o   其他更多 …
(如有需求，請與我們?nèi)〉寐?lián)系)

三、應用領域

FR-pOrtable的緊湊尺寸以及定制設計的反射探頭以及寬帶長壽命光源確保了高精度和可重復的便攜式測量。

FR-Portable既可以安裝在提供的載物臺上，也可以輕松轉(zhuǎn)換為手持式厚度測量工具。放置在待表征的樣品上方即可進行測量。

FR-Portable是用于工業(yè)環(huán)境（如R2R、帶式輸送機等）中涂層實時表征的可靠而精確的測厚儀。

四、產(chǎn)品特點
o 一鍵分析 (無需初始化操作)
o 動態(tài)測量
o 測量光學參數(shù)(n & k, 顏色)，膜厚
o 自動保存演示視頻
o 可測量 600 多種不同材料
o 用于離線分析的多個設置
o 免費軟件更新服務 

五、技術(shù)參數(shù)

FR-pRo: 按需可靈活搭建的薄膜特性表征工具

一、產(chǎn)品簡介：

      FR-pRo 是一個模塊化和可擴展平臺的光學測量設備，用于表征厚度范圍為1nm-1mm 的涂層.FR-pRo 是為客戶量身定制的，并廣泛應用于各種不同的應用 。

      FR-pRo 可由用戶按需選擇裝配模塊，核心部件包括光源，光譜儀（適用于 200nm-2500nm 內(nèi)的任何光譜系統(tǒng)）和控制單元，電子通訊模塊
此外，還有各種各種配件，比如:
? 用于測量吸收率/透射率和化學濃度的薄膜/試管架,
? 用于表征涂層特性的薄膜厚度工具,
? 用于控制溫度或液體環(huán)境下測量的加熱裝置或液體試劑盒,

? 漫反射和全反射積分球

通過不同模塊組合，終的配置可以滿足任何終端用戶的需求 


 

二、應用領域（涂層薄膜厚度測量、光學參數(shù)測量、薄膜表征）

o   彎曲基材（襯底）上的硬/軟涂層

o   聚合物涂層、粘合劑等

o   生物醫(yī)學（ parylene—— 派瑞林,氣泡壁厚,等等 )

O    半導體生產(chǎn)制造：(光刻膠, 電介質(zhì),光子多層結(jié)構(gòu)， poly-Si,Si, DLC )
o     光伏產(chǎn)業(yè)
o     液晶顯示
o     光學薄膜
o     聚合物
o     微機電系統(tǒng)和微光機電系統(tǒng)
o     基底: 透明 (玻璃, 石英, 等等) 和半透明

三、產(chǎn)品特點
o 單點分析(無需預設值）
o 動態(tài)快速測量
o 包括光學參數(shù)(n和k，顏色)
o 為演示保存視頻
o 600 多種的預存材料
o 離線分析
o 免費軟件更新 

四、技術(shù)參數(shù)

 （涂層薄膜厚度測量、光學參數(shù)測量、薄膜表征）