FR系列 晶圓薄膜厚度測(cè)量?jī)x、硅片薄膜膜厚儀
參考價(jià) | ¥ 30000 |
訂貨量 | ≥1 件 |
- 公司名稱 岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司
- 品牌 ThetaMetrisis
- 型號(hào) FR系列
- 產(chǎn)地 希臘
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2020/8/26 10:07:27
- 訪問(wèn)次數(shù) 906
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 2萬(wàn)-5萬(wàn) |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,石油,電子,航天,電氣 |
廠家正式*代理商:岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司
晶圓薄膜厚度測(cè)量?jī)x、硅片薄膜膜厚儀
晶圓薄膜測(cè)厚/晶圓涂層膜厚儀/晶圓涂層膜厚儀/硅片薄膜厚度測(cè)量/晶圓涂層膜厚儀/納米級(jí)薄膜測(cè)厚儀
測(cè)量厚度、折射率、反射率和穿透率:
- 單層膜或多層膜疊加
- 單一膜層
- 液態(tài)膜或空氣層
不同條件下的測(cè)量,包括:
- 在平面或彎曲表面
- 光斑小可達(dá)20微米
- 桌面式、XY坐標(biāo)自動(dòng)化膜厚測(cè)量,或在線配置
1、規(guī)格參數(shù)
2、晶圓薄膜厚度測(cè)量?jī)x、硅片薄膜膜厚儀配件選用指南
光斑配件選用、光源選用(測(cè)量波段選擇)
3、原理簡(jiǎn)介
白光干涉,紫外波段——紅外波段
4、應(yīng)用
可測(cè)量單層、多層薄膜
半導(dǎo)體膜層 液晶顯示器
光刻膠 OLED
加工膜層 玻璃厚度
介電層 ITO和TCOs
光學(xué)鍍層 生物醫(yī)學(xué)
硬涂層 聚對(duì)二甲苯
抗反射層 醫(yī)療器械
客戶常用于測(cè)量、硅片(單晶硅)襯底沉積的氧化硅(SiO2)、非晶硅(a-Si)、多晶硅(p-Si)、氮化硅(Si3N4)、碳化硅(SiC)、光刻膠(高分子化合物)、非金屬化合物、金屬涂層(眼鏡鏡片涂層)、無(wú)機(jī)非金屬膜層(用于半導(dǎo)體行業(yè)如液晶面板、芯片制造工藝)等等。
5、服務(wù)項(xiàng)
樣機(jī)試用、樣品代測(cè)、工程師售前售中售后全方面技術(shù)支持。